[实用新型]用于检测晶圆吸盘残胶的光学检测系统

权利要求书

1.一种用于检测晶圆吸盘残胶的光学检测系统，设置于一包含有一晶圆吸盘的晶圆处理制程设备，该晶圆吸盘具有一用以吸附一晶圆的吸附平面，其特征在于，该光学检测系统包含：

一照明模块，沿一投射方向对该晶圆吸盘投射出至少一检测光束，且该投射方向与该吸附平面之间的夹角为0度至10度；

一用以在该至少一检测光束投射至该晶圆吸盘后，获取该晶圆吸盘的至少一晶圆吸盘检测图像的图像获取模块，设置于该晶圆处理制程设备；

一图像分析模块，用以对该至少一晶圆吸盘检测图像进行分析，分析其是否存在至少一对应于该至少一透光性残胶的散射边界轮廓，电性连接于该图像获取模块。

2.如权利要求1所述的用于检测晶圆吸盘残胶的光学检测系统，其特征在于，该照明模块包含至少一线照明组件，且该至少一线照明组件包含多个线性排列的照明元件。

3.如权利要求1所述的用于检测晶圆吸盘残胶的光学检测系统，其特征在于，该照明模块为一环形照明组件，且该环形照明组件包含一环状本体与多个设置在该环状本体的一环形内壁的照明元件。

4.如权利要求1所述的用于检测晶圆吸盘残胶的光学检测系统，其特征在于，该图像获取模块包含一透镜组与一图像感测装置，该透镜组与该图像感测装置沿一成像中心轴而设置，且该成像中心轴经过该晶圆吸盘。

5.如权利要求4所述的用于检测晶圆吸盘残胶的光学检测系统，其特征在于，该图像感测装置为一互补式金属氧化物半导体图像感测器或一电荷耦合器件。

6.如权利要求4所述的用于检测晶圆吸盘残胶的光学检测系统，其特征在于，该成像中心轴垂直于该吸附平面。

7.如权利要求4所述的用于检测晶圆吸盘残胶的光学检测系统，其特征在于，该成像中心轴倾斜于该吸附平面。