[实用新型]压差平衡结构

权利要求书

1.一种压差平衡结构，其用于连接光刻胶干式剥离机台的预真空腔和真空传送模块，其特征在于，包括：

第一平衡孔，其形成在真空传送模块侧壁上；

第二平衡孔，其形成在预真空腔侧壁上；

平衡结构，其密闭连接第一平衡孔和第二平衡孔；

流量控制装置，其形成在平衡结构上，其用于控制平衡结构内的气体流量。

2.如权利要求1所述的压差平衡结构，其特征在于：第一平衡孔和第二平衡孔形成在预真空腔和真空传送模块同侧的侧壁上。

3.如权利要求1所述的压差平衡结构，其特征在于：平衡结构是密闭平衡管路。

4.如权利要求1所述的压差平衡结构，其特征在于，流量控制装置包括：

角度阀门，其设置在平衡结构中，其用于控制平衡结构内的气体流量；

电磁阀，其设置在平衡结构外壁上，其用于驱动角度阀门开启角度。

5.如权利要求1所述的压差平衡结构，其特征在于，流量控制装置包括：

角度阀门，其设置在平衡结构中，其用于控制平衡结构内的气体流量；

压缩空气装置，其设置在平衡结构外壁上，其用于驱动角度阀门开启角度。

6.如权利要求1所述的压差平衡结构，其特征在于，还包括：

第一传感器，其设置在真空传送模块内，其用于检测真空传送模块内压力，其将采集压力数据输送至光刻胶干式剥离机台控制器；

第二传感器，其设置在预真空腔内，其用于检测预真空腔内压力，其将采集压力数据输送至光刻胶干式剥离机台控制器；

其中，光刻胶干式剥离机台控制器根据第一传感器和第二传感器的压力差触发平衡结构动作。

7.如权利要求6所述的压差平衡结构，其特征在于：

若第一传感器和第二传感器的压力差大于预设阈值，则光刻胶干式剥离机台控制器触发平衡结构动作；否则，不触发平衡结构动作。