[实用新型]一种化学气相淀积反应室用气体注入环

权利要求书

1.一种化学气相淀积反应室用气体注入环，其特征在于：包括气体注入环本体（1）、进气旋钮（3）和反应室本体（4），所述气体注入环本体（1）的内环设置有调节结构（2），所述调节结构（2）包括喷气管（201）、翻转轴（202）、锁紧螺母（203）、翻转固定座（204）、进气口和波纹管（206），所述气体注入环本体（1）的内环均匀连通有喷气管（201），所述喷气管（201）与气体注入环本体（1）之间设置有翻转固定座（204），所述翻转固定座（204）的中间位置处设置有翻转轴（202），所述翻转轴（202）的两端连接有锁紧螺母（203），所述翻转轴（202）的顶端设置有波纹管（206），所述波纹管（206）顶端贯穿并延伸至气体注入环本体（1）的内部设置有进气口，所述气体注入环本体（1）的底部设置有反应室本体（4）。

2.根据权利要求1所述的一种化学气相淀积反应室用气体注入环，其特征在于：所述气体注入环本体（1）与反应室本体（4）之间的两侧设置有安装结构（5），所述安装结构（5）包括卡槽（501）、预留槽（502）、预留块（503）、弹簧槽（504）、伸缩卡块（505）和卡合弹簧（506），所述反应室本体（4）顶端的两侧设置有预留块（503），所述气体注入环本体（1）底端的两侧开设有预留槽（502），所述预留块（503）插设到预留槽（502）的内部，所述预留槽（502）内部的一侧设置有弹簧槽（504），所述弹簧槽（504）的内部设置有卡合弹簧（506），所述卡合弹簧（506）的一侧固定有伸缩卡块（505），所述伸缩卡块（505）的一侧贯穿并延伸至预留槽（502）的内部。

3.根据权利要求1所述的一种化学气相淀积反应室用气体注入环，其特征在于：所述喷气管（201）贯穿至翻转轴（202）的顶端，所述波纹管（206）与喷气管（201）相连通，所述喷气管（201）利用翻转轴（202）设计为翻转结构。

4.根据权利要求1所述的一种化学气相淀积反应室用气体注入环，其特征在于：所述波纹管（206）设计成表面为褶皱状的管状结构，所述波纹管（206）设计为可伸缩结构。

5.根据权利要求2所述的一种化学气相淀积反应室用气体注入环，其特征在于：所述预留块（503）的表面开设有卡槽（501），所述伸缩卡块（505）插设到卡槽（501）的内部，所述预留块（503）通过卡槽（501）与伸缩卡块（505）之间构成卡合结构。

6.根据权利要求2所述的一种化学气相淀积反应室用气体注入环，其特征在于：所述伸缩卡块（505）的宽度小于弹簧槽（504）的内部宽度，所述伸缩卡块（505）利用卡合弹簧（506）在弹簧槽（504）的内部设计为伸缩结构。