[实用新型]去除石英玻璃棒杂质的装置有效
申请号: | 202022120822.7 | 申请日: | 2020-09-24 |
公开(公告)号: | CN213680350U | 公开(公告)日: | 2021-07-13 |
发明(设计)人: | 孙启兵 | 申请(专利权)人: | 东海县奥兰石英科技有限公司 |
主分类号: | C03B5/00 | 分类号: | C03B5/00;C03C1/02;C03B20/00 |
代理公司: | 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人: | 刘刚 |
地址: | 222000 江苏省连*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 去除 石英 玻璃棒 杂质 装置 | ||
1.去除石英玻璃棒杂质的装置,包括底座(1)、第一连熔炉(2)、入料口(3)和一号高频电磁加热器(10),其特征在于;所述底座(1)的左上端设置有制氢机(4),所述制氢机(4)的上端连接有输氢管道(5),所述输氢管道(5)的末端与第一连熔炉(2)的左侧相连通,并且延伸至第一钨钼坩埚(6)内,所述第一连熔炉(2)的上端开设有入料口(3),所述第一连熔炉(2)的右侧固定设置有一号排气孔(9),所述第一钨钼坩埚(6)的下端连接有输料管道(7),所述输料管道(7)上设置有阀门(8),所述输料管道(7)的末端穿过第二连熔炉(11)的左侧壁,并且延伸至第二钨钼坩埚(16)内,所述第一连熔炉(2)的内壁上设置有一号高频电磁加热器(10),所述第二连熔炉(11)的内部上设置有二号高频电磁加热器(12),所述第二连熔炉(11)的上端设置有封盖(13),所述第二连熔炉(11)的右端开设有二号排气孔(17),所述第二连熔炉(11)的右侧设置有真空中频炉(18),所述真空中频炉(18)的靠下端被支撑架(25)所支撑,所述支撑架(25)的下端固定连接底座(1),所述真空中频炉(18)的底部开设有出料口(20),所述真空中频炉(18)的上端设置有炉盖(19),所述真空中频炉(18)的右侧固定连接支撑平台,所述支撑平台的上端设置有真空泵(21),所述真空泵(21)与抽管(22)相连接,所述抽管(22)的末端与真空中频炉(18)相连通,所述真空中频炉(18)的左侧设置有第二加氦气口(26),所述抽管(22)的下方设置有三号排气孔(23)。
2.根据权利要求1所述的去除石英玻璃棒杂质的装置,其特征在于:所述封盖(13)的左上端设置有第一加氦气口(14),所述封盖(13)的右上端设置有加氮气口(15)。
3.根据权利要求1所述的去除石英玻璃棒杂质的装置,其特征在于:所述出料口(20)处设置有出料阀。
4.根据权利要求1所述的去除石英玻璃棒杂质的装置,其特征在于:所述第二加氦气口(26)的正下方设置有温度检测仪(24)。
5.根据权利要求1所述的去除石英玻璃棒杂质的装置,其特征在于:所述封盖(13)可以向上打开。
6.根据权利要求1所述的去除石英玻璃棒杂质的装置,其特征在于:所述第一钨钼坩埚(6)和第二钨钼坩埚(16)的两侧分别通过连接件与第一连熔炉(2)和第二连熔炉(11)的内壁相连接。
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