[实用新型]一种硅片翻转装置及硅片翻转输送系统

权利要求书

1.一种硅片翻转装置，用于翻转装载有硅片的花篮；其特征在于：包括沿第一方向设置的第一缓冲轨道、翻转机构和第二缓冲轨道，所述翻转机构位于所述第一缓冲轨道和第二缓冲轨道之间；

所述翻转装置被配置为：所述第一缓冲轨道将装载有所述硅片的花篮从叠放机构中输送至所述翻转机构处后，所述翻转机构将装载有所述硅片的花篮翻转并放置在所述第二缓冲轨道上；所述第二缓冲轨道将装载有所述硅片的花篮继续沿第一方向输送。

2.根据权利要求1所述的一种硅片翻转装置，其特征在于：所述翻转机构包括沿第二方向设置有翻转轴，以及连接在所述翻转轴上的安装部，所述安装部上相对地连接有两个固定臂；所述花篮上设置有与所述固定臂相配合的固定槽。

3.根据权利要求2所述的一种硅片翻转装置，其特征在于：所述花篮包括上框体和下框体，以及连接在所述上框体和下框体之间的两个连接板，所述连接板上设置有若干沿第三方向排布的硅片放置槽。

4.根据权利要求3所述的一种硅片翻转装置，其特征在于：所述上框体和下框体的边沿突出于所述连接板外侧壁设置，以使所述上框体、下框体和连接板之间形成所述的固定槽。

5.根据权利要求3所述的一种硅片翻转装置，其特征在于：所述安装部上设置有花篮护臂，所述花篮护臂包括压紧板和顶升驱动件，所述压紧板能够在所述顶升驱动件的驱动下沿第三方向移动，以驱使所述上框体/下框体与所述固定臂压紧。

6.根据权利要求3所述的一种硅片翻转装置，其特征在于：所述上框体为凹形结构，并在所述凹形结构的凹部形成为供所述硅片进入花篮内的开口；所述下框体的结构与所述上框体的结构相同。

7.根据权利要求3所述的一种硅片翻转装置，其特征在于：所述上框体和下框体之间连接有若干个连接柱。

8.根据权利要求2所述的一种硅片翻转装置，其特征在于：所述第一缓冲轨道与翻转机构之间设置有第一传递轨道，所述第二缓冲轨道与翻转机构之间设置有第二传递轨道；所述安装部的板面与第一方向垂直时，所述固定臂在第一方向上至少部分与所述第一传递轨道重叠，或者在第一方向上至少部分与第二传递轨道重叠。

9.根据权利要求8所述的一种硅片翻转装置，其特征在于：所述第一传递轨道和第二传递轨道在第三方向上的位置相同。

10.一种翻转输送系统，其特征在于：包括权利要求1～9中任一项所述的硅片翻转装置，所述硅片翻转装置用于翻转装载有硅片的花篮。