[实用新型]一种硅片翻转装置及硅片翻转输送系统有效

专利信息
申请号: 202022125287.4 申请日: 2020-09-24
公开(公告)号: CN213093216U 公开(公告)日: 2021-04-30
发明(设计)人: 张天;陈友好;田军 申请(专利权)人: 苏州迈为科技股份有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/677
代理公司: 江苏瑞途律师事务所 32346 代理人: 韦超峰
地址: 215200 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 翻转 装置 输送 系统
【说明书】:

本实用新型公开了一种硅片翻转装置及硅片翻转输送系统,属于太阳能硅片生产领域。本实用新型的一种硅片翻转装置,包括沿第一方向设置的第一缓冲轨道、翻转机构和第二换从轨道,所述翻转机构位于所述第一缓冲轨道和第二缓冲轨道之间;因而可以通过对花篮进行翻转的方式,实现多个硅片的批量翻转,且缓冲轨道的设置可以允许翻转机构以较慢的速度对花篮进行翻转而不影响其他轨道上硅片的运输,从而在提高硅片翻转输送的效率的同时,提高硅片在翻转过程中的安全性。

技术领域

本实用新型涉及太阳能生产技术领域,更具体地说,涉及一种硅片翻转装置及硅片翻转输送系统。

背景技术

在太阳能电池的加工生产中,随着硅片加工工艺的不断改进,硅片的双面加工技术越来越成熟。目前,部分工艺为对硅片的双面分各个单面逐步进行加工,这就需要将单面完成加工的硅片翻转后再次进行加工。同时,由于不能直接对硅片进行接触,因而需要人工使用吸盘对硅片逐片进行翻转,从而导致这一加工工序耗时又耗力,翻转效率低。

在相关领域中,为解决上述问题,常采用的方式是利用翻转机构实现硅片的自动化翻转;例如申请号为201820873204X的中国专利文件公开的一种硅片翻转装置及硅片翻转输送系统,该翻转机构包括依次设置的进料组件、翻转组件和出料组件。其中,所述进料组件用于运送待翻转硅片,所述待翻转硅片的第一表面朝上;所述翻转组件用于将所述进料组件运送的所述待翻转硅片表面翻转,使所述硅片的与所述第一表面相对的第二表面朝上;所述出料组件用于运送完成表面翻转后的硅片。

然而,应当知晓的是,物体在旋转时天然带有离心力,为防止硅片从翻转机构上脱出,就需要对硅片进行固定或限位,此时容易对硅片的表面造成损伤;此外,为了防止硅片在翻转过程中脱出,翻转的速度一般较慢,使得翻转机构前段工序的硅片产生积压,降低了硅片流水线的输送效率。

实用新型内容

1.实用新型要解决的技术问题

本实用新型的目的在于克服现有技术中硅片进行翻转输送时效率较低的不足,提供一种硅片翻转装置,旨在利用翻转机构将花篮内的硅片成批进行翻转,同时在硅片的输送轨道和翻转机构之间设置用于缓存花篮的缓冲轨道以减少硅片在输送轨道上的等待时间,从而提高硅片翻转输送效率。

2.技术方案

为达到上述目的,本实用新型提供的技术方案为:

本实用新型的一种硅片翻转装置,用于翻转装载有硅片的花篮;包括沿第一方向设置的第一缓冲轨道、翻转机构和第二换从轨道,所述翻转机构位于所述第一缓冲轨道和第二缓冲轨道之间;

所述翻转装置被配置为:所述第一缓冲轨道将装载有所述硅片的花篮从所述叠放机构中输送至所述翻转机构处后,所述翻转机构将装载有所述硅片的花篮翻转并放置在所述第二缓冲轨道上;所述第二缓冲轨道将装载有所述硅片的花篮继续沿第一方向输送。

进一步地,所述翻转机构包括沿第二方向设置有翻转轴,以及连接在所述翻转轴上的安装部,所述安装部上相对地连接有两个固定臂;所述花篮上设置有与所述固定臂相配合的固定槽。

进一步地,所述花篮包括上框体和下框体,以及连接在所述上框体和下框体之间的两个连接板,所述连接板上设置有若干沿第三方向排布的硅片放置槽。

进一步地,所述上框体和下框体的边沿突出于所述连接板外侧壁设置,以使所述上框体、下框体和连接板之间形成所述的固定槽。

进一步地,所述安装部上设置有花篮护臂,所述花篮护臂包括压紧板和顶升驱动件,所述压紧板能够在所述顶升驱动件的驱动下沿第三方向移动,以驱使所述上框体/下框体与所述固定臂压紧。

进一步地,所述上框体为凹形结构,并在所述凹形结构的凹部形成为供所述硅片进入花篮内的开口;所述下框体的结构与所述上框体的结构相同。

进一步地,所述上框体和下框体之间连接有若干个连接柱。

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