[实用新型]石英坩埚用双层石墨模具

权利要求书

1.石英坩埚用双层石墨模具，包括石墨模具；其特征是：所述石墨模具包括模具外层(1)、模具内层(2)、不锈钢外套(3)、外套连接盘(4)、空腔(5)、冷却水腔(6)和外套连接环槽(7)；沿所述模具内层(2)外壁上方的外部固定套有所述模具外层(1)，在所述模具外层(1)下圈口的外壁上设有呈向内凹陷状的外套连接环槽(7)；沿所述不锈钢外套(3)的内壁设有呈向外凸出状的所述外套连接盘(4)，所述模具外层(1)通过将所述外套连接环槽(7)固定架设在外套连接盘(4)上来将所述不锈钢外套(3)固定设置在所述不锈钢外套(3)的内部；所述不锈钢外套(3)与模具内层(2)之间隔离的空间形成所述空腔(5)且向所述空腔(5)的内部输入气流；所述不锈钢外套(3)的外壁内部为空心状即形成所述冷却水腔(6)且向所述冷却水腔(6)的内部注入冷却水；在所述不锈钢外套(3)的底面的中心部位开设有导流口(8)。

2.根据权利要求1所述的石英坩埚用双层石墨模具，其特征是：所述外套连接环槽(7)的槽体宽度及高度与外套连接盘(4)的盘体宽度及高度相匹配。

3.根据权利要求1所述的石英坩埚用双层石墨模具，其特征是：在所述不锈钢外套(3)的顶部圈口的两侧开设进水口及进气口。

4.根据权利要求1所述的石英坩埚用双层石墨模具，其特征是：所述导流口(8)包括外导流口(8.1)和内导流口(8.2)，所述外导流口(8.1)位于所述内导流口(8.2)的外围且在所述外导流口(8.1)和内导流口(8.2)之间隔有分隔板(8.3)。

5.根据权利要求4所述的石英坩埚用双层石墨模具，其特征是：所述外导流口(8.1)的上端及下端均为开口状；所述内导流口(8.2)的下端为开口状，上端与所述不锈钢外套(3)的内壁空腔连通。

6.根据权利要求1所述的石英坩埚用双层石墨模具，其特征是：所述模具外层(1)的内壁与模具内层(2)的外壁之间隔有间隙。

7.根据权利要求1所述的石英坩埚用双层石墨模具，其特征是：所述不锈钢外套(3)的内部为空腔，且腔体的直径大小与模具外层(1)的直径大小相匹配。