[实用新型]石英坩埚用双层石墨模具

说明书

本实用新型公开了石英坩埚用双层石墨模具，沿模具内层外壁上方的外部固定套有模具外层，在模具外层下圈口的外壁上设有呈向内凹陷状的外套连接环槽；沿不锈钢外套的内壁设有呈向外凸出状的外套连接盘，模具外层通过将外套连接环槽固定架设在外套连接盘上来将不锈钢外套固定设置在不锈钢外套的内部；不锈钢外套与模具内层之间隔离的空间形成空腔且向空腔的内部输入气流；不锈钢外套的外壁内部为空心状即形成冷却水腔且向冷却水腔的内部注入冷却水；在不锈钢外套的底面的中心部位开设有导流口。本实用新型可以对不锈钢外套进行防护，可以有效防止不锈钢外套损坏；其次可以有效的延长整体装置的使用寿命，降低成本并提高坩埚的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及坩埚模具，具体涉及石英坩埚用双层石墨模具。

背景技术

现在生产石英坩埚使用的均是不锈钢磨具或单层石墨模具加不锈钢外套，高温时不锈钢模具或不锈钢外套易变型，特别是不锈钢外套与单层石墨磨具连接处易变型，造成不锈钢磨具报废或单层石墨模具碎裂而报废，使生产成本增加且石英坩埚质量不稳定。针对上述问题,本方案提出了石英坩埚用双层石墨模具。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供石英坩埚用双层石墨模具。

根据本实用新型实施例提供的技术方案，石英坩埚用双层石墨模具，包括石墨模具；所述石墨模具包括模具外层、模具内层、不锈钢外套、外套连接盘、空腔、冷却水腔和外套连接环槽；沿所述模具内层外壁上方的外部固定套有所述模具外层，在所述模具外层下圈口的外壁上设有呈向内凹陷状的外套连接环槽；沿所述不锈钢外套的内壁设有呈向外凸出状的所述外套连接盘，所述模具外层通过将所述外套连接环槽固定架设在外套连接盘上来将所述不锈钢外套固定设置在所述不锈钢外套的内部；所述不锈钢外套与模具内层之间隔离的空间形成所述空腔且向所述空腔的内部输入气流；所述不锈钢外套的外壁内部为空心状即形成所述冷却水腔且向所述冷却水腔的内部注入冷却水；在所述不锈钢外套的底面的中心部位开设有导流口。

本实用新型中，所述外套连接环槽的槽体宽度及高度与外套连接盘的盘体宽度及高度相匹配。

本实用新型中，在所述不锈钢外套的顶部圈口的两侧开设进水口及进气口。

本实用新型中，所述导流口包括外导流口和内导流口，所述外导流口位于所述内导流口的外围且在所述外导流口和内导流口之间隔有分隔板。

本实用新型中，所述外导流口的上端及下端均为开口状；所述内导流口的下端为开口状，上端与所述不锈钢外套的内壁空腔连通。

本实用新型中，所述模具外层的内壁与模具内层的外壁之间隔有间隙。

本实用新型中，所述不锈钢外套的内部为空腔，且腔体的直径大小与模具外层的直径大小相匹配。

综上所述，本实用新型的有益效果：对不锈钢外套进行防护，可以有效防止不锈钢外套损坏；其次可以有效的延长整体装置的使用寿命，降低成本并提高坩埚的稳定性。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型的剖面结构示意图；

图2为本实用新型中模具外层和模具内层的剖面结构示意图。

图中标号：1.模具外层、2.模具内层、3.不锈钢外套、4.外套连接盘、5.空腔、6.冷却水腔、7.外套连接环槽、8.导流口、8.1.外导流口、8.2.内导流口、8.3.分隔板。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。