[实用新型]一种二极管晶圆级半自动低频参数测试装置

权利要求书

1.一种二极管晶圆级半自动低频参数测试装置，它包括底座（1），在底座（1）上设有显微镜（3），其特征在于：在显微镜（3）一侧的底座（1）上还设有探针夹持装置（5），在探针夹持装置（5）上设有测试探针（6），在底座（1）上还设有BNC测试单元（8），所述的BNC测试单元（8）通过线缆与测试探针（6）形成电信号连接配合。

2.根据权利要求1中所述的一种二极管晶圆级半自动低频参数测试装置，其特征在于：所述的探针夹持装置（5）包括探针架（5a），在探针架（5a）顶端连接有悬臂（5b），在悬臂（5b）一端设有槽体（5c），在槽体（5c）内插接有与测试探针（6）连接配合的探针座（7）。

3.根据权利要求2中所述的一种二极管晶圆级半自动低频参数测试装置，其特征在于：所述的探针座（7）包括探针座主体（7a）,所述的测试探针（6）同轴插接在探针座主体（7a）内，所述测试探针（6）下端的针尖端伸出探针座主体（7a）底部，在探针座主体（7a）内测试探针（6）上包裹有一段热缩管（7b），在探针座主体（7a）的外壁上，覆盖有金属屏蔽层（7g），在探针座主体（7a）上端部的外壁上还设有一组环状分布的摩擦纹（7c），在探针座主体（7a）顶端螺纹连接有顶帽，在顶帽内竖直设有金属套筒（7d）,所述的金属套筒（7d）与顶帽外壁（7f）之间填充有绝缘层（7e）,所述金属套筒（7d）的下端伸出顶帽底部与测试探针（6）的上端形成插接配合。

4.根据权利要求1中所述的一种二极管晶圆级半自动低频参数测试装置，其特征在于：所述BNC测试单元（8）包括外壳（8n）,在外壳（8n）上设有一组BNC接口和一组接线口以及一个按钮开关（8k）,所述的BNC接口与接线口以及按钮开关（8k）通过外壳（8n）内的电缆形成电信号连接配合。

5.根据权利要求2中所述的一种二极管晶圆级半自动低频参数测试装置，其特征在于：在探针座（7）一侧的槽体（5c）上还穿设有锁紧锁栓（5d）。