[实用新型]一种尾气处理及粒子吸附装置有效
申请号: | 202022144346.2 | 申请日: | 2020-09-25 |
公开(公告)号: | CN213528082U | 公开(公告)日: | 2021-06-25 |
发明(设计)人: | 李湘林;李力;钟权平 | 申请(专利权)人: | 东莞纳锋微电子装备有限公司 |
主分类号: | B01D53/76 | 分类号: | B01D53/76 |
代理公司: | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人: | 张明 |
地址: | 523000 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 尾气 处理 粒子 吸附 装置 | ||
1.一种尾气处理及粒子吸附装置,其特征在于:包括尾气进气口、反应气体进气口、吸附组件以及出气口;所述吸附组件包括若干的吸附件,相邻的吸附件之间形成与空气隔绝的吸附通道,相邻的吸附通道彼此连通,所述吸附通道与所述尾气进气口、反应气体进气口以及出气口均连通。
2.根据权利要求1所述一种尾气处理及粒子吸附装置,其特征在于:所述尾气处理及粒子吸附装置还包括外壳,若干所述吸附件均装设于所述外壳内,所述外壳套设在若干吸附件外周,所述外壳将吸附通道与空气隔开。
3.根据权利要求2所述一种尾气处理及粒子吸附装置,其特征在于:所述吸附件为片状的金属吸附网,若干吸附件间隔设置,若干所述吸附件均开设有通孔,靠近所述尾气进气口的吸附件的通孔与尾气进气口连通。
4.根据权利要求3所述一种尾气处理及粒子吸附装置,其特征在于:所述吸附组件还包括若干固定板,每个所述吸附件均贴合连接有所述固定板,所述固定板开设有与吸附件的通孔连通的过孔。
5.根据权利要求2所述一种尾气处理及粒子吸附装置,其特征在于:所述吸附件为螺旋状的金属吸附网,相邻的吸附件之间形成螺旋状的吸附通道。
6.根据权利要求4所述一种尾气处理及粒子吸附装置,其特征在于:所述粒子吸附装置还包括出气圆筒,所述出气圆筒与所述出气口连通,若干所述吸附件套设于出气圆筒的外壁,吸附件位于所述外壳和出气圆筒之间,所述出气圆筒开设有开孔,所述吸附通道通过开孔与出气圆筒连通。
7.根据权利要求6所述一种尾气处理及粒子吸附装置,其特征在于:所述出气圆筒的侧壁开设有若干支撑孔,所述支撑孔用于安装螺丝,该螺丝用于安装所述固定板。
8.根据权利要求1所述一种尾气处理及粒子吸附装置,其特征在于:所述反应气体进气口装设有进气阀。
9.根据权利要求6所述一种尾气处理及粒子吸附装置,其特征在于:所述外壳的顶部装设有顶盖,所述顶盖与外壳的连接处通过密封圈密封连接,所述顶盖开设有进气孔和出气孔,所述进气孔与所述尾气进气口连通,所述出气孔与所述出气口连通。
10.根据权利要求9所述一种尾气处理及粒子吸附装置,其特征在于:所述尾气处理及粒子吸附装置还包括密封垫环,所述密封垫环的一侧与顶盖抵触,所述密封垫环的另一侧与所述出气圆筒的顶部抵触。
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