[实用新型]一种尾气处理及粒子吸附装置

说明书

本实用新型涉及真空镀膜系统技术领域，尤其是指一种尾气处理及粒子吸附装置，包括尾气进气口、反应气体进气口、吸附组件以及出气口；所述吸附组件包括若干的吸附件，相邻的吸附件之间形成与空气隔绝的吸附通道，相邻的吸附通道彼此连通，所述吸附通道与所述尾气进气口、反应气体进气口以及出气口均连通。本实用新型提供的一种尾气处理及粒子吸附装置，不会出现吸附通道被堵塞的情况，可以更加充分地对需要过滤的材料进行吸附工作。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜系统技术领域，尤其是指一种尾气处理及粒子吸附装置。

背景技术

在一些化学反应中，例如在原子层沉积过程中，需要将尾气中过量有害气体反应源进行无害处理以及尾气中的微尘颗粒进行吸附回收处理，防止这些有害气体反应源和微尘颗粒影响环境以及真空获得系统。现有技术中，多数是直接将这些剩余的反应原料通过带有吸附功能的过滤材料，如金属吸附网、过滤棉、竹炭等等可以吸收粒子的过滤材料，而未对尾气中残余的有害气体反应源进行无害处理，这将对环境造成影响，并且使用一段时间后过滤材料容易被堵住，需要频繁进行更换，否则便无法继续进行吸附过滤工作。

发明内容

本实用新型针对现有技术的问题提供一种尾气处理及粒子吸附装置，若干吸附件形成吸附通道，需要处理的尾气通入吸附通道内，同时通入反应气体，并由吸附件进行吸附，避免出现吸附件被堵塞的情况，反应气体可与尾气中的有害气体反应源反应，生成无害的气体和微颗粒，无害气体可安全排放，而微颗粒由吸附件吸附，实现尾气的处理。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：一种尾气处理及粒子吸附装置，包括尾气进气口、反应气体进气口、吸附组件以及出气口；所述吸附组件包括若干的吸附件，相邻的吸附件之间形成与空气隔绝的吸附通道，相邻的吸附通道彼此连通，所述吸附通道与所述尾气进气口、反应气体进气口以及出气口均连通。

优选的，所述粒子吸附装置还包括外壳，若干所述吸附件均装设于所述外壳内，所述外壳套设在若干吸附件外周，所述外壳将吸附通道与空气隔开。

优选的，所述吸附件为片状的金属吸附网，若干吸附件间隔设置，若干所述吸附件均开设有通孔，靠近所述尾气进气口的吸附件的通孔与尾气进气口连通。

优选的，所述吸附组件还包括若干固定板，每个所述吸附件均贴合连接有固定板，所述固定板开设有与吸附件的通孔连通的过孔。

优选的，所述吸附件为螺旋状的金属吸附网，相邻的吸附件之间形成螺旋状的吸附通道。

优选的，所述粒子吸附装置还包括出气圆筒，所述出气圆筒与所述出气口连通，若干所述吸附件套设于出气圆筒的外壁，吸附件位于所述外壳和出气圆筒之间，所述出气圆筒开设有开孔，所述吸附通道通过开孔与出气圆筒连通。

优选的，所述出气圆筒的侧壁开设有若干支撑孔，所述支撑孔用于安装螺丝，该螺丝用于安装所述固定板。

优选的，所述尾气进气口装设有进气阀。

优选的，所述外壳的顶部装设有顶盖，所述顶盖与外壳的连接处通过密封圈密封连接，所述顶盖开设有进气孔和出气孔，所述进气孔与所述尾气进气口连通，所述出气孔与所述出气口连通。

优选的，所述尾气处理及粒子吸附装置还包括密封垫环，所述密封垫环的一侧与顶盖抵触，所述密封垫环的另一侧与所述出气圆筒的顶部抵触。

本实用新型的有益效果：