[实用新型]可控硅结构有效
申请号: | 202022145791.0 | 申请日: | 2020-09-25 |
公开(公告)号: | CN212725318U | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | 刘宗贺;吴沛东 | 申请(专利权)人: | 深圳长晶微电子有限公司 |
主分类号: | H01L29/08 | 分类号: | H01L29/08;H01L29/06;H01L29/74 |
代理公司: | 深圳市宏德雨知识产权代理事务所(普通合伙) 44526 | 代理人: | 李捷 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 可控硅 结构 | ||
1.一种可控硅结构,其特征在于,包括:
N型衬底;
背面P型掺杂,设置在所述N型衬底一端;
P型穿通环,位于所述N型衬底四周,一端接触所述背面P型掺杂,用于将背面P型掺杂与N型衬底所形成的PN结引到表面;
正面P型掺杂,设置在所述N型衬底远离背面P型掺杂一端,覆盖在N型衬底上,覆盖在P型穿通环上;
隔离槽,呈环状,一端露出所述正面P型掺杂,另一端穿过正面P型掺杂,沉入N型衬底中;
N型掺杂区,设置在所述正面P型掺杂上,外侧被所述正面P型掺杂包裹,一端露出正面P型掺杂,另一端沉入正面P型掺杂中;
表面结构,包括钝化层、第一金属电极和第二金属电极,设置在所述正面P型掺杂远离N型衬底的一端,用于芯片钝化以及封装焊接;
第三金属电极,覆盖在所述背面P型掺杂上远离表面结构一侧,用于封装可控硅阳极电极焊接导电。
2.根据权利要求1所述的可控硅结构,其特征在于,所述N型掺杂区,所述N型掺杂区边缘设置有缺口,所述缺口用于露出所述正面P型掺杂。
3.根据权利要求2所述的可控硅结构,其特征在于,所述钝化层设置在所述正面P型掺杂远离N型衬底的一端,位于所述隔离槽两侧,所述钝化层接触正面P型掺杂和N型掺杂区,用于保护N型掺杂区和正面P型掺杂所形成的PN结,用于可控硅阴极K与门极G之间的钝化隔离,中部设置有第一通孔和第二通孔,所述第一通孔位于N型掺杂区上,用于露出N型掺杂区,所述第二通孔靠近所述缺口,用于露出正面P型掺杂;
所述第一金属电极设置在所述隔离槽内侧,用于封装可控硅阴极电极焊接导电,包括第一接电极和第一连接部,所述第一连接部凸出所述第一接电极连接在第一通孔内,第一连接部接触所述N型掺杂区,所述第二金属电极与正面P型掺杂之间通过第二钝化层隔离;
所述第二金属电极设置在所述正面P型掺杂区沿所述缺口露出位置,用于可控硅封装门极电极焊接导电,包括第二接电极和第二连接部,所述第二连接部凸出所述第二接电极连接在第二通孔内,第二连接部接触所述正面P型掺杂。
4.根据权利要求3所述的可控硅结构,其特征在于,所述N型掺杂区上设置有多个短路孔,所述短路孔一端接触所述第一金属电极,另一端接触所述正面P型掺杂,短路孔内设置有P+掺杂区。
5.根据权利要求4所述的可控硅结构,其特征在于,距离所述缺口越远的短路孔的横截面面积越大。
6.根据权利要求4所述的可控硅结构,其特征在于,距离所述缺口位置越远的短路孔之间的间距越小。
7.根据权利要求3所述的可控硅结构,其特征在于,所述第一金属电极和第二金属电极之间有间隙。
8.根据权利要求1所述的可控硅结构,其特征在于,所述背面P型掺杂和所述N型衬底接触处形成第一PN结,所述正面P型掺杂和N型衬底接触处形成第二PN结。
9.根据权利要求8所述的可控硅结构,其特征在于,所述第一PN结和第二PN结之间有间隙。
10.根据权利要求1所述的可控硅结构,其特征在于,所述N型掺杂区的厚度小于所述正面P型掺杂的厚度,N型掺杂区露出正面P型掺杂的一端与正面P型掺杂表面平齐,N型掺杂区与所述正面P型掺杂之间存在间隙。
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