[实用新型]一种等离子清洗机有效

专利信息
申请号: 202022151080.4 申请日: 2020-09-25
公开(公告)号: CN213378293U 公开(公告)日: 2021-06-08
发明(设计)人: 陈天元;宋伟龙;谢育林;王庆丰;林克斌;张凯 申请(专利权)人: 深圳泰德半导体装备有限公司
主分类号: B08B7/00 分类号: B08B7/00;B08B13/00
代理公司: 深圳市恒程创新知识产权代理有限公司 44542 代理人: 张小容
地址: 518000 广东省深圳市坪山区龙田街*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 等离子 清洗
【权利要求书】:

1.一种等离子清洗机,用于清洗引线框架,其特征在于,包括:

机台;

清洗组件,所述清洗组件安装于所述机台;及

载料组件,所述载料组件包括第一移料组件和第二移料组件,所述第一移料组件和所述第二移料组件均可移动地安装于所述机台,所述第一移料组件具有用于上料或下料的第一上下料工位和用于清洗所述引线框架的第一清洗工位,所述第二移料组件具有用于上料或下料的第二上下料工位和用于清洗所述引线框架的第二清洗工位;

当所述第一移料组件处于所述第一上下料工位时,所述第二移料组件处于所述第二清洗工位;当所述第一移料组件处于所述第一清洗工位时,所述第二移料组件处于所述第二上下料工位。

2.如权利要求1所述的等离子清洗机,其特征在于,所述第一清洗工位与所述第二清洗工位位于所述机台的同一位置,所述第一上下料工位与所述第二上下料工位位于所述机台的同一位置。

3.如权利要求2所述的等离子清洗机,其特征在于,所述第一移料组件具有第一移料轨迹,所述第二移料组件具有第二移料轨迹,所述第一移料轨迹高于所述第二移料轨迹,以使所述第一移料组件与所述第二移料组件在移料过程中相互避让。

4.如权利要求3所述的等离子清洗机,其特征在于,所述第一移料组件在上下方向上可移动地设于所述机台,且所述第一移料组件在左右方向上可移动地设于所述机台,以使所述第一移料组件具有位于所述第一上下料工位下方的第一等待工位、及位于所述第一清洗工位下方的第二等待工位;所述第二移料组件在上下方向上可移动地设于所述机台,且所述第二移料组件在左右方向上可移动地设于所述机台,以使所述第二移料组件具有位于所述第二上下料工位下方的第三等待工位、及位于所述第二清洗工位下方的第四等待工位,其中,所述第三等待工位位于所述第一等待工位的下方,所述第四等待工位位于所述第二等待工位的下方。

5.如权利要求4所述的等离子清洗机,其特征在于,所述清洗组件包括清洗座,所述清洗座具有开口朝下的清洗槽,当所述第一移料组件处于第一清洗工位时,所述第一移料组件与所述清洗座连接,以将所述清洗槽的槽口闭合;当所述第二移料组件处于第二清洗工位时,所述第二移料组件与所述清洗座连接,以将所述清洗槽的槽口闭合。

6.如权利要求5所述的等离子清洗机,其特征在于,所述载料组件还包括第一传输组件,所述第一传输组件包括第一电机和与所述第一电机连接的第一传送带,所述第一传送带上安装有所述第一移料组件,所述第一电机用于驱动所述第一传送带移动,以带动所述第一移料组件移动至所述第一等待工位或所述第二等待工位。

7.如权利要求6所述的等离子清洗机,其特征在于,所述第一移料组件包括第一底座和可分离地安装于所述第一底座上的第一连接座,所述第一连接座上设有第一料槽,所述第一料槽用于放置所述引线框架,所述第一连接座相对所述第一底座向上移动,以使所述第一移料组件从所述第一等待工位切换至所述第一上下料工位或从所述第二等待工位切换至所述第一清洗工位。

8.如权利要求7所述的等离子清洗机,其特征在于,所述第一移料组件还包括升降气缸,所述升降气缸用于穿过所述第一底座将所述第一连接座顶起。

9.如权利要求1至8中任意一项所述的等离子清洗机,其特征在于,所述等离子清洗机还包括传输组件,所述传输组件安装于所述机台,所述传输组件用于将所述引线框架传送至位于所述第一上下料工位的所述第一移料组件或位于所述第二上下料工位的所述第二移料组件,还用于将所述引线框架从位于所述第一上下料工位的所述第一移料组件或位于所述第二上下料工位的所述第二移料组件上移走。

10.如权利要求9所述的等离子清洗机,其特征在于,所述等离子清洗机还包括推料组件,所述推料组件安装于所述机台,所述推料组件包括推料爪,所述推料爪用于将所述引线框架推出所述传输组件。

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