[实用新型]一种单晶炉用隔离阀

权利要求书

1.一种单晶炉用隔离阀，其特征在于，包括：

阀体，所述阀体包括筒部和连接在所述筒部侧面的副室部，所述副室部的腔室与所述筒部的腔室相连通，所述副室部的后侧设有开口；

后板，所述后板连接于所述副室部后侧的开口处以打开/关闭所述开口；

隔离阀板，所述隔离阀板用于封闭所述阀体的筒部的下端开口；

移动装置，所述移动装置连接所述隔离阀板，用于移动所述隔离阀板。

2.根据权利要求1所述的单晶炉用隔离阀，其特征在于，还包括：

上阀口进气管，所述上阀口进气管固定在所述筒部的上端。

3.根据权利要求1所述的单晶炉用隔离阀，其特征在于，还包括：

下阀口吹气管，所述下阀口吹气管固定在所述筒部的下端且管口位于所述筒部的下端开口下方。

4.根据权利要求1所述的单晶炉用隔离阀，其特征在于，所述移动装置包括：

主轴，所述主轴设置于所述筒部的侧面；

升降气缸，所述升降气缸连接于所述主轴的上端，用于驱动所述主轴升降，

其中，所述主轴连接所述隔离阀体以带动所述隔离阀板升降。

5.根据权利要求4所述的单晶炉用隔离阀，其特征在于，所述移动装置还包括：

连接杆，所述连接杆一端连接所述隔离阀板的上表面且另一端连接所述主轴，以通过所述主轴的升降带动所述连接杆进行升降从而带动所述隔离阀板升降。

6.根据权利要求5所述的单晶炉用隔离阀，其特征在于，所述移动装置还包括：

旋转气缸，所述旋转气缸的第一端可转动地连接所述副室部的上表面，且所述旋转气缸的第二端连接所述主轴以带动所述主轴旋转。

7.根据权利要求6所述的单晶炉用隔离阀，其特征在于，

所述旋转气缸的第一端设有耳座，所述副室部的上表面设有可转动的连接座，所述耳座连接所述连接座，

所述旋转气缸的所述第二端连接有鱼眼接头，所述鱼眼接头通过关节轴与所述主轴连接。

8.根据权利要求1所述的单晶炉用隔离阀，其特征在于，还包括：

光纤对射装置，所述光纤对射装置固定于所述筒部的侧壁上且位于所述隔离阀板的上方。

9.根据权利要求1所述的单晶炉用隔离阀，其特征在于，所述隔离阀板的下端面通过密封圈与所述筒部的下端开口连接。

10.根据权利要求3所述的单晶炉用隔离阀，其特征在于，还包括：

抽气口，所述抽气口设置于所述副室部的侧面且邻近所述后板，用于对所述副室部进行抽真空。