[实用新型]一种单晶炉用隔离阀

说明书

本实用新型提供一种单晶炉用隔离阀，包括：阀体，所述阀体包括筒部和连接在所述筒部侧面的副室部，所述副室部的腔室与所述筒部的腔室相连通，所述副室部的后侧设有开口；后板，所述后板连接于所述副室部后侧的开口处以打开/关闭所述开口；隔离阀板，所述隔离阀板用于封闭所述阀体的筒部的下端开口；移动装置，所述移动装置连接所述隔离阀板，用于移动所述隔离阀板。根据本实用新型实施例的单晶炉用隔离阀，降低了副室部下沿的高度，减小了相关传动的行程要求，同时阀体后部设有后板，方便人员进行擦拭安装工作，以便对该设备进行维修维护，隔离阀板采用移动装置控制，使得启闭更加平稳可靠，实现了隔离阀启闭的自动化控制。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅制备技术领域，具体涉及一种单晶炉用隔离阀。

背景技术

单晶炉用隔离阀多为翻板结构，随着单晶炉自动化的不断升级，目前的单晶炉用隔离阀多采用气缸连杆形式，实现了自动启闭。

目前，隔离阀内部易存在挥发物及灰尘杂质，且多数阀体只有上下两个开口处，对隔离阀仍然存在着清扫困难的问题。

而对于液面氧化物的吹拂，所有单晶炉是通过副室顶部的氩气输入口进行的，容易导致液面晃动，影响引径成功率，有导致细径氧化的风险。

用于检测硅棒的光纤对射装置，因其设置位置较低一般在隔离阀板活动范围的下部，则需要通过程序进行行程计算，增加了误判风险。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种单晶炉用隔离阀，其能够解决隔离阀体存在的清扫困难等问题，从而能够对籽晶部位的液面进行净化，提高引晶成功率。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

根据本实用新型实施例的单晶炉用隔离阀，包括：

阀体，所述阀体包括筒部和连接在所述筒部侧面的副室部，所述副室部的腔室与所述筒部的腔室相连通，所述副室部的后侧设有开口；

后板，所述后板连接于所述副室部后侧的开口处以打开/关闭所述开口；

隔离阀板，所述隔离阀板用于封闭所述阀体的筒部的下端开口；

移动装置，所述移动装置连接所述隔离阀板，用于移动所述隔离阀板。

根据本实用新型实施例的单晶炉用隔离阀，还包括：

上阀口进气管，所述上阀口进气管固定在所述筒部的上端。

根据本实用新型实施例的单晶炉用隔离阀，还包括：

下阀口吹气管，所述下阀口吹气管固定在所述筒部的下端且管口位于所述筒部的下端开口下方。

进一步地，所述移动装置包括：

主轴，所述主轴设置于所述筒体的侧面；

升降气缸，所述升降气缸连接于所述主轴的上端，用于驱动所述主轴升降，其中，所述主轴连接所述隔离阀体以带动所述隔离阀板升降。

更进一步地，所述移动装置还包括：

连接杆，所述连接杆一端连接所述隔离阀板的上表面且另一端连接所述主轴，以通过所述主轴的升降带动所述连接杆进行升降从而带动所述隔离阀板升降。

更进一步地，所述移动装置还包括：

旋转气缸，所述旋转气缸的第一端可转动地连接所述副室部的上表面，且所述旋转气缸的第二端连接所述主轴以带动所述主轴旋转。

更进一步地，所述旋转气缸的第一端设有耳座，所述副室部的上表面设有可转动的连接座，所述耳座连接所述连接座，所述旋转气缸的所述第二端连接有鱼眼接头，所述鱼眼接头通过关节轴与所述主轴连接。