[实用新型]等离子清洗机有效

专利信息
申请号: 202022166144.8 申请日: 2020-09-27
公开(公告)号: CN213378294U 公开(公告)日: 2021-06-08
发明(设计)人: 朱霆;叶贤斌;李文强;杨建新;张凯 申请(专利权)人: 深圳泰德半导体装备有限公司
主分类号: B08B7/00 分类号: B08B7/00;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/68;H01L21/687
代理公司: 深圳市恒程创新知识产权代理有限公司 44542 代理人: 刘冰
地址: 518000 广东省深圳市坪山区龙田街*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 等离子 清洗
【权利要求书】:

1.一种等离子清洗机,其特征在于,包括:

料盒安装机构,用于安装存放有物料的料盒;

腔体模组,用于对所述物料进行清洗;以及,

托料治具循环机构,能够在所述料盒安装机构和所述腔体模组之间运送所述物料,所述托料治具循环机构包括:

托料治具,用于放置待清洗的物料;

送料模组,包括并行且间隔排布的两条送料导轨、以及滑动安装于所述两条送料导轨上的送料件;所述两条送料导轨的间隔大于所述托料治具在所述两条送料导轨的排布方向上的宽度,所述送料件呈具有开口的半包围结构并能够定位以及带动所述托料治具移动;

回料模组,设于所述送料模组的所述两条送料导轨之间且位于所述送料件的下方,并能够带动所述托料治具移动;以及,

第一升降装置,设于所述回料模组的下方,所述第一升降装置能够带动所述托料治具在所述送料模组和所述回料模组之间循环切换。

2.如权利要求1所述的等离子清洗机,其特征在于,所述送料件具有与所述两条送料导轨一一对应滑动连接的两个滑动部,每个所述滑动部连接有朝向另一滑动部凸出的定位块,所述定位块用以支撑及定位所述托料治具。

3.如权利要求2所述的等离子清洗机,其特征在于,所述定位块与所述送料件转动连接,以使所述定位块能够向上翻转。

4.如权利要求1所述的等离子清洗机,其特征在于,所述回料模组包括并行且间隔排布的两条回料导轨,至少一条所述回料导轨上滑动安装有回料件,所述回料件能够定位以及带动所述托料治具移动。

5.如权利要求4所述的等离子清洗机,其特征在于,托料治具还设有与所述回料件适配的第二定位槽,所述回料件可卡接于所述第二定位槽内;和/或,

所述托料治具的底面和/或侧面凸设有滚珠结构,所述滚珠结构可与所回料模组的所述回料导轨滚动接触。

6.如权利要求1至5任意一项所述的等离子清洗机,其特征在于,所述等离子清洗机还包括推料机构,所述推料机构用于将所述料盒内待清洗的物料推出,以及将清洗完成的物料推回所述料盒,所述推料机构包括:

推料模组,包括推料导轨和推料驱动件;

调整模组,包括调整导轨和调整驱动件,所述调整导轨滑动安装于所述推料导轨上并与所述推料导轨呈十字交叉设置,所述调整导轨可被所述推料驱动件驱动而滑动;以及,

推料件,滑动安装于所述调整导轨上,并可被所述调整驱动件驱动而滑动。

7.如权利要求1至5任意一项所述的等离子清洗机,其特征在于,所述料盒安装机构包括:

料盒安装座;

夹紧驱动件;以及,

夹紧组件,安装于所述料盒安装座,并包括沿一直线方向间隔相对的第一夹紧件和第二夹紧件,所述第一夹紧件和所述第二夹紧件中至少一者可被所述夹紧驱动件驱动并向另一者滑动,所述第一夹紧件和所述第二夹紧件用于共同夹紧待安装的料盒。

8.如权利要求7所述的等离子清洗机,其特征在于,所述料盒安装机构包括:

升降模组,包括升降驱动件和竖向延伸的第一升降导轨;

横移模组,包括横移驱动件和水平延伸的横移导轨,所述横移导轨滑动安装于所述第一升降导轨上并可被所述升降驱动件驱动而滑动;以及,

所述料盒安装座滑动安装于所述横移导轨上并可被所述横移驱动件驱动而滑动。

9.如权利要求1至5任意一项所述的等离子清洗机,其特征在于,所述等离子清洗机还包括导料机构,所述导料机构设于所述料盒安装机构和所述托料治具循环机构之间,并用于将所述料盒内的物料导至所述托料治具上;所述导料机构包括:

导料安装座;

调宽驱动件;以及,

导料模组,安装于所述导料安装座上并包括沿一直线方向间隔相对的两个导料组件,每个所述导料组件在面向另一导料组件的表面上设有传送结构件,两个所述传送结构件共同支撑及传送待传送的物料;

两个所述导料组件中至少一者可被所述调宽驱动件驱动并向另一者运动,以调节所述两个导料组件之间的间距。

10.如权利要求1至5任意一项所述的等离子清洗机,其特征在于,所述腔体模组包括:

第一腔体;

第二升降装置,能够带动所述第一腔体做升降运动;以及,

限位装置,用于在所述第二升降装置将所述第一腔体顶升之后对所述第一腔体进行限位。

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