[实用新型]高纯乙硅烷尾气处理装置有效
| 申请号： | 202022167753.5 | 申请日： | 2020-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN213528099U | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 徐昕;俞冬雷;王伟 | 申请（专利权）人： | 南京亚格泰新能源材料有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/78 | 分类号： | B01D53/78;B01D53/38;B01D46/10;B01D53/04;B01D53/26 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 李寰 |
| 地址： | 210043 江苏省南京市江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高纯 硅烷 尾气 处理 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种高纯乙硅烷尾气处理装置，包括处理箱（1），其特征在于，处理箱（1）左端设有进气管（2），处理箱（1）右端设有出气管（3），处理箱（1）内左端第一输送管（4），第一输送管（4）左端与进气管（2）连接，第一输送管（4）内设有过滤板（5），处理箱（1）内中间设有第二输送管（6），第二输送管（6）左端与第一输送管（4）右端连接，第二输送管（6）上侧设有输液管（7），输液管（7）下端连接有喷头（8），喷头（8）下端伸入第二输送管（6）内，处理箱（1）内右端设有第三输送管（9），第三输送管（9）左端与第二输送管（6）连接，第三输送管（9）右端与出气管（3）连接，第三输送管（9）内设有吸附板（10）。
2.如权利要求1所述的高纯乙硅烷尾气处理装置，其特征在于：所述第一输送管（4）、第二输送管（6）、第三输送管（9）都为螺旋结构。
3.如权利要求1所述的高纯乙硅烷尾气处理装置，其特征在于： 第一输送管（4）、第二输送管（6）、第三输送管（9）之间都设有单向阀（11）。
4.如权利要求1所述的高纯乙硅烷尾气处理装置，其特征在于：第二输送管（6）下方设有废液池（12），第二输送管（6）下侧与废液池（12）之间通过排液管（13）连接。
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