[实用新型]高纯乙硅烷尾气处理装置

说明书

本实用新型提供一种高纯乙硅烷尾气处理装置，包括处理箱，处理箱左端设有进气管，处理箱右端设有出气管，处理箱内左端第一输送管，第一输送管左端与进气管连接，第一输送管内设有过滤板，处理箱内中间设有第二输送管，第二输送管左端与第一输送管右端连接，第二输送管上侧设有输液管，输液管下端连接有喷头，喷头下端伸出第二输送管内，处理箱内右端设有第三输送管，第三输送管左端与第二输送管连接，第三输送管右端与出气管连接，第三输送管内设有吸附板。通过多段输送进行多次处理，提高尾气处理效果，结构简单，使用方便。

技术领域

本实用新型涉及超净高纯试剂及特种气体领域，尤其涉及一种高纯乙硅烷尾气处理装置。

背景技术

硅烷气体是一种可燃气体，广泛用于芯片制造等电子工业，在气体行业中，往往把硅烷与惰性气体或者氢气混合后充装入气瓶，供给芯片厂使用，当从芯片厂等客户使用到气瓶中压力小于5bar时,既退回气体钢瓶充装工厂重新充装，充装工厂需把气瓶中的残余气体排放完全才能进行充装。硅烷在空气中含量大于0.1%就会自燃，产生大量烟尘，如直接排放不但会污染环境、而且操作不慎，可能引燃可燃物，造成严重的安全事故。因此解决这个问题就变得很重要了。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种高纯乙硅烷尾气处理装置，通过多段输送进行多次处理，解决了现有硅烷尾气排放时存在环境污染、产生安全隐患的问题。

本实用新型提供一种高纯乙硅烷尾气处理装置，包括处理箱，处理箱左端设有进气管，处理箱右端设有出气管，处理箱内左端第一输送管，第一输送管左端与进气管连接，第一输送管内设有过滤板，处理箱内中间设有第二输送管，第二输送管左端与第一输送管右端连接，第二输送管上侧设有输液管，输液管下端连接有喷头，喷头下端伸出第二输送管内，处理箱内右端设有第三输送管，第三输送管左端与第二输送管连接，第三输送管右端与出气管连接，第三输送管内设有吸附板。

进一步改进在于：所述第一输送管、第二输送管、第三输送管都为螺旋结构。

进一步改进在于：第一输送管、第二输送管、第三输送管之间都设有单向阀。

进一步改进在于：第二输送管下方设有废液池，第二输送管下侧与废液池之间通过排液管连接。

本实用新型的有益效果：通过利用第一输送管、第二输送管、第三输送管进行依次处理，过滤板对尾气中含有的颗粒杂质进行过滤处理，输液管输入碱液并通过喷头进行喷洒，对尾气进行中和，吸附板对尾气中含有的杂质进行吸附，同时第一输送管、第二输送管、第三输送管采用螺旋结构设置，提高了尾气输送距离，大大提高了尾气净化处理效果。

附图说明

图1是本实用新型的主视结构图。

其中：1-处理箱，2-进气管，3-出气管，4-第一输送管，5-过滤板，6-第二输送管，7-输液管，8-喷头，9-第三输送管，10-吸附板，11-单向阀，12-废液池，13-排液管。

具体实施方式

为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例对本实用新型作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。