[实用新型]一种用于高温条件下腐蚀测试晶片的装置

权利要求书

1.一种用于高温条件下腐蚀测试晶片的装置，其特征在于，包括圆柱体腐蚀锅本体和放置在腐蚀锅内的晶片承载装置，所述晶片承载装置包括数层半圆形载片，载片上设置有数个通孔，载片之间使用数根肋条沿载片边缘固定连接，肋条顶部固定连接有和腐蚀锅本体相匹配的盖体，盖体顶部设置有把手，且盖体上设置有开口，开口处设置有活动盖片。

2.根据权利要求1所述的一种用于高温条件下腐蚀测试晶片的装置，其特征在于，开口和盖片为扇形，以盖体的圆心点为连接点，设置铰接部件，铰接于盖体上。

3.根据权利要求1所述的一种用于高温条件下腐蚀测试晶片的装置，其特征在于，以载片的圆心为中点计算，肋条之间间隔45°。

4.根据权利要求1所述的一种用于高温条件下腐蚀测试晶片的装置，其特征在于，所述通孔为圆形，成规律排布在载片上。

5.根据权利要求1所述的一种用于高温条件下腐蚀测试晶片的装置，其特征在于，所述腐蚀锅底部向内凹陷，形成圆弧形凹面。

6.根据权利要求1、2、3、4或5所述的一种用于高温条件下腐蚀测试晶片的装置，其特征在于，所述腐蚀锅本体、载片、立柱、盖体的材料为镍金属。

7.根据权利要求6所述的一种用于高温条件下腐蚀测试晶片的装置，其特征在于，所述载片的厚度为2mm-3mm。