[实用新型]钛基板连续镀金属硫化物的装置

权利要求书

1.钛基板连续镀金属硫化物的装置，其特征是：包括真空箱体(10)，箱体(10)内设置有托辊组(2)，托辊组(2)的上方左侧设置有若干用于喷涂金属的喷头A(4)，右侧设置有若干用于喷涂硫的喷头B(5)，喷头A(4)和喷头B(5)的喷射方向朝向托辊组(2)，喷头A(4)和喷头B(5)均成直线排布，且喷涂宽度不大于单个托辊的长度，喷头A(4)和喷头B(5)喷射方向的交点位于托辊组(2)的下侧。

2.如权利要求1所述的钛基板连续镀金属硫化物的装置，其特征是：所述喷头A(4)的进料管(9)上设置有高能热源，喷头B(5)的进料管(9)上设置有普通热源。

3.如权利要求2所述的钛基板连续镀金属硫化物的装置，其特征是：所述喷头A(4)的进料管(9)包括交汇的金属注入管和保护气管，高能热源设置在金属注入管上。

4.如权利要求1所述的钛基板连续镀金属硫化物的装置，其特征是：所述喷头A(4)和喷头B(5)的喷射角度均可改变。

5.如权利要求4所述的钛基板连续镀金属硫化物的装置，其特征是：还包括喷头喷射角度控制器(6)，所述喷头A(4)和喷头B(5)的喷射角度均由喷头喷射角度控制器(6)控制。

6.如权利要求1所述的钛基板连续镀金属硫化物的装置，其特征是：所述喷头A(4)和喷头B(5)的进料管(9)为高温耐热管制成。

7.如权利要求1所述的钛基板连续镀金属硫化物的装置，其特征是：所述喷头A(4)和喷头B(5)的进料管(9)上均设置有进料阀(8)，且托辊组(2)由变频电机驱动，进料阀(8)为电磁阀并与变频电机电连接。