[实用新型]一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置

权利要求书

1.一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置，其特征在于，包括：

移动机构，所述移动机构包括基板、移动板、密封圈以及升降杆，所述基板安装于所述晶圆蚀刻设备，所述移动板与所述基板滑动连接，所述基板设置有移动槽，所述密封圈安装于所述移动槽周壁，所述升降杆贯穿所述移动板，所述升降杆与所述移动槽滑动连接；

封压机构，所述封压机构包括固定件、定位件、限位件以及抵持件，所述固定件安装于所述基板的一端，所述移动板设置有固定槽，所述固定件与所述固定槽连接，所述定位件安装于所述基板，所述定位件能够与所述移动板抵接，所述限位件安装于所述基板，所述限位件与所述移动板抵接以限制所述移动板的运动，所述抵持件的一端安装于所述基板，所述抵持件的另一端与所述移动板抵持，所述抵持件与所述移动板滑动连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置，其特征在于，所述封压机构有两个，两个所述封压机构安装于所述移动机构两端。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置，其特征在于，所述限位件包括限位板、固定杆、限位杆以及滑座，所述限位板的一端安装于所述基板，所述限位板的另一端与所述移动板抵接，所述限位板设置有滑槽，所述固定杆安装于所述滑槽，所述限位杆的一端套设于所述固定杆，所述限位杆的另一端与所述滑座连接，所述滑座的一端与所述移动板抵接，所述滑座的另一端贯穿所述限位板与所述限位板滑动连接。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置，其特征在于，所述移动板设置有限位槽，所述滑座的一端贯穿所述限位板与所述限位槽抵接。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置，其特征在于，所述限位槽设置有引导面，所述引导面能够引导所述滑座。

6.根据权利要求3所述的一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置，其特征在于，所述限位件还包括弹性件，所述弹性件安装于所述滑槽，所述弹性件套设于所述固定杆，所述弹性件的一端与所述限位板抵接，所述弹性件的另一端与所述固定杆抵接。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置，其特征在于，所述抵持件包括安装板、螺纹杆以及滑轮，所述安装板的一端与所述基板连接，所述安装板的另一端与所述移动板抵接，所述螺纹杆的一端与所述安装板螺纹连接，所述螺纹杆的另一端与所述滑轮连接。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置，其特征在于，所述抵持件还包括连接板，所述连接板的一端与所述螺纹连接，所述连接板的另一端与所述滑轮转动连接。

9.根据权利要求7所述的一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置，其特征在于，所述移动板设置有连接槽，所述滑轮与所述连接槽滑动连接。

10.根据权利要求1所述的一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置，其特征在于，所述固定件由多个，多个所述固定件安装于所述基板。