[实用新型]一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置

说明书

本实用新型提供了一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置，属于半导体生产技术领域。该装置包括：移动机构以及封压机构，其中，基板安装于晶圆蚀刻设备，移动板与基板滑动连接，基板设置有移动槽，密封圈安装于移动槽周壁，升降杆贯穿移动板，升降杆与移动槽滑动连接，固定件安装于基板的一端，移动板设置有固定槽，固定件与固定槽连接，定位件安装于基板，定位件能够与移动板抵接，限位件安装于基板，限位件与移动板抵接以限制移动板的运动，抵持件的一端安装于基板，抵持件的另一端与移动板抵持，抵持件与移动板滑动连接。该装置能够提高蚀刻腔室的密封效果，有利于提高晶圆蚀刻设备的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及半导体生产技术领域，具体而言，涉及一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置。

背景技术

晶圆蚀刻设备是半导体生产过程中常见的设备，蚀刻腔室内设有蚀刻功能机构，通过腐蚀性溶液对晶圆进行蚀刻处理。由于蚀刻腔室内充满腐蚀性气体，所以蚀刻腔室采用了密封装置，将密封装置设置在蚀刻腔室周壁防止蚀刻腔室内的腐蚀性气体从蚀刻腔室外泄。现在常用的晶圆蚀刻设备的密封装置为卷轴式，上下卷轴之间设置有密封软带，但是密封软带在使用中容易变形破损，使用寿命较短。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供了一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置，旨在提高晶圆蚀刻设备的使用寿命。

本实用新型是这样实现的：一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置，包括：移动机构以及封压机构。

其中，移动机构包括基板、移动板、密封圈以及升降杆，基板安装于晶圆蚀刻设备，移动板与基板滑动连接，基板设置有移动槽，密封圈安装于移动槽周壁，升降杆贯穿移动板，升降杆与移动槽滑动连接。

封压机构包括固定件、定位件、限位件以及抵持件，固定件安装于基板的一端，移动板设置有固定槽，固定件与固定槽连接，定位件安装于基板，定位件能够与移动板抵接，限位件安装于基板，限位件与移动板抵接以限制移动板的运动，抵持件的一端安装于基板，抵持件的另一端与移动板抵持，抵持件与移动板滑动连接。

在本实用新型实施例中，移动板与基板滑动连接，基板设置有移动槽，密封件安装于移动槽周壁与移动板抵接，升降杆与移动槽滑动连接，移动移动板，升降杆在移动槽内上下移动，固定件安装于基板，移动板设置有固定槽，固定件与固定槽滑动连接以固定移动槽运动的位置，定位件安装于基板，定位杆能够与移动板抵接防止移动板运动脱离基板，限位件的一端安装于基板，限位件的另一端能够与移动板抵接以限制移动板的运动，抵持件的一端与移动板滑动连接，抵持件的另一端与基板连接，抵持件用于压紧移动板与基板，增强密封效果。该装置既使用固定件、定位件以及限位件限制移动板相对基板的位置，又采用抵持件与密封件的配合使用使移动板与基板紧密连接，能够增强移动板相对基板运动的稳定性，还能够提高蚀刻腔室的密封效果，有利于提高晶圆蚀刻设备的使用寿命。

在本实用新型的一种实施例中，封压机构有两个，两个封压机构安装于移动机构两端。

在本实用新型实施例中，封压机构有两个，两个封压机构分别安装于移动机构的两端，两个封压机构能够在两端限制移动板的运动，提高移动板移动的有效性和密封性。

在本实用新型的一种实施例中，限位件包括限位板、固定杆、限位杆以及滑座，限位板的一端安装于基板，限位板的另一端与移动板抵接，限位板设置有滑槽，固定杆安装于滑槽，限位杆的一端套设于固定杆，限位杆的另一端与滑座连接，滑座的一端与移动板抵接，滑座的另一端贯穿限位板与限位板滑动连接。

在本实用新型实施例中，限位板设置有滑槽，固定杆的两端与滑槽壁固定连接，限位杆的一端套设于固定杆与固定杆滑动连接，限位杆的另一端与滑座固定连接，滑座的一端贯穿限位板并与限位板滑动连接，滑座的另一端与移动板抵接，滑座相对限位板能够滑动并与移动板抵接，能够限制移动板的运动。

在本实用新型的一种实施例中，移动板设置有限位槽，滑座的一端贯穿限位板与限位槽抵接。