[实用新型]一种超声麦克风及移动终端有效
| 申请号： | 202022190633.7 | 申请日： | 2020-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN213342681U | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 张金宇 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 龙丹丹 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 超声 麦克风 移动 终端 | ||
【权利要求书】：
1.一种超声麦克风，包括第一基板，设置在所述第一基板上且具有镂空部的至少一第二基板，设置在所述第二基板上的金属盖板，所述金属盖板、第二基板及第一基板围合形成第一腔体，其特征在于，所述超声麦克风还包括位于所述第一腔体内，且固定于所述金属盖板内侧的MEMS芯片，所述金属盖板上对应所述MEMS芯片的位置开设有声孔。
2.根据权利要求1所述的超声麦克风，其特征在于，所述MEMS芯片内部形成有第二腔体，所述第二腔体连通于所述声孔。
3.根据权利要求1所述的超声麦克风，其特征在于，所述第二基板的数量为两个。
4.根据权利要求3所述的超声麦克风，其特征在于，还包括位于所述第一腔体内，且固定于所述金属盖板内侧的ASIC芯片，所述ASIC芯片与所述MEMS芯片电连接。
5.一种移动终端，其特征在于，包括：如权利要求1-4任一项所述的超声麦克风。
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