[实用新型]一种电动高精度二维载物台有效
| 申请号： | 202022195202.X | 申请日： | 2020-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN213532483U | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 徐爱文;张和君 | 申请（专利权）人： | 深圳市中图仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | B25H1/02 | 分类号： | B25H1/02;B25H1/14;G01B11/00 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人： | 胡吉科 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电动 高精度 二维 载物台 | ||
1.一种电动高精度二维载物台，其特征在于：包括载物台底层模块、载物台中层模块、载物台上层模块，所述载物台底层模块通过X轴交叉导轨与所述载物台中层模块连接，所述载物台中层模块通过Y轴交叉导轨与所述载物台上层模块连接，所述载物台底层模块通过X轴进给机构与所述载物台中层模块连接，所述X轴进给机构包括X轴驱动单元和X轴柔性丝杠机构，所述X轴驱动单元与所述X轴柔性丝杠机构连接，所述X轴柔性丝杠机构包括X向丝杠、X轴螺母块、X向推块、X球顶安装连接块、球推杆、球头柱塞，所述X向丝杠与所述X轴驱动单元连接，所述X轴螺母块安装在所述X向丝杠上，所述X轴螺母块与所述X向推块连接，所述X球顶安装连接块上设有X向插槽，所述球推杆、球头柱塞安装在所述X向插槽的两侧，所述X向推块插在所述X向插槽之内，所述X向推块的两侧分别与所述球推杆、球头柱塞点接触，所述载物台中层模块通过Y轴进给机构与所述载物台上层模块连接，所述Y轴进给机构与所述X轴进给机构的结构相同，但安装方向相反。
2.根据权利要求1所述的电动高精度二维载物台，其特征在于：所述X轴驱动单元、X向丝杠均安装在所述载物台底层模块上，所述X球顶安装连接块安装在所述载物台中层模块上。
3.根据权利要求1所述的电动高精度二维载物台，其特征在于：所述载物台底层模块上设有X向直线导轨，所述载物台中层模块的底部连接有X向滑块，所述X向滑块与所述X向直线导轨滑动连接。
4.根据权利要求1所述的电动高精度二维载物台，其特征在于：所述载物台中层模块上设有Y向直线导轨，所述载物台上层模块的底部连接有Y向滑块，所述Y向滑块与所述Y向直线导轨滑动连接。
5.根据权利要求1所述的电动高精度二维载物台，其特征在于：所述载物台底层模块上设有X轴位置检测单元，所述载物台中层模块上设有Y轴位置检测单元。
6.根据权利要求1所述的电动高精度二维载物台，其特征在于：所述载物台底层模块上设有X轴高精度玻璃光栅，所述载物台中层模块上设有Y轴高精度玻璃光栅。
7.根据权利要求1所述的电动高精度二维载物台，其特征在于：所述球头柱塞与所述X向推块为弹性点接触，所述球推杆与所述X向推块为刚性点接触。
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