[实用新型]一种电动高精度二维载物台

说明书

本实用新型提供了一种电动高精度二维载物台，包括载物台底层模块、载物台中层模块、载物台上层模块，载物台底层模块通过X轴交叉导轨与载物台中层模块连接，所述载物台中层模块通过Y轴交叉导轨与所述载物台上层模块连接，所述载物台底层模块通过X轴进给机构与所述载物台中层模块连接，所述X轴进给机构包括X轴驱动单元和X轴柔性丝杠机构，所述X轴驱动单元与所述X轴柔性丝杠机构连接，所述X轴柔性丝杠机构包括X向丝杠、X轴螺母块、X向推块、X球顶安装连接块、球推杆、球头柱塞。本实用新型的有益效果是：采用柔性连接结构，降低了装配要求，提高了装配效率，并且，提高了精度，在长期使用之后，还可以保持良好的精度稳定性。

技术领域

本实用新型涉及载物台，尤其涉及一种电动高精度二维载物台。

背景技术

在图像测量领域，各种各样的被测产品、被测工件的尺寸检测数量需求大增，检测类目繁多，所要求测量仪器能通过二维载物台放置批量化的被测件以快速精准稳定的移动而高效率的完成产品的测量，以达到快速生产和检测的目的。

由于闪测仪镜头的精度和视野范围在生产制造中都会受到各方面工艺制造能力的限制，不可能针对超长工件制造出特大视野的高精度镜头来完成一次性成像测量，这样也会使测量成本增加，在产品的生产需求中也没有太大的意义。所以闪测仪和影像仪在测量工件尺寸时，当被测工件长度尺寸超过镜头有限的视野范围时，实际测量中需通过二维载物台为载体精确移动工件，然后对工件进行分段采集图像，再将图像进行拼接成一个整体，再测出工件的实际尺寸。

但现有二维载物台的结构笨重，不够轻巧简洁，X、Y轴的驱动连接结构全为硬连接，硬连接结构在仪器生产装配过程中要求较高，载物台装配效率较低，对快速实现批量的仪器生产带来不便，并且精度较低，长期使用，容易出现磨损、偏移等，导致精度下降，精度的稳定性较差，难以满足闪测仪和影像仪的测量要求。

发明内容

为了解决现有技术中的问题，本实用新型提供了一种电动高精度二维载物台。

本实用新型提供了一种电动高精度二维载物台，包括载物台底层模块、载物台中层模块、载物台上层模块，所述载物台底层模块通过X轴交叉导轨与所述载物台中层模块连接，所述载物台中层模块通过Y轴交叉导轨与所述载物台上层模块连接，所述载物台底层模块通过X轴进给机构与所述载物台中层模块连接，所述X轴进给机构包括X轴驱动单元和X轴柔性丝杠机构，所述X轴驱动单元与所述X轴柔性丝杠机构连接，所述X轴柔性丝杠机构包括X向丝杠、X轴螺母块、X向推块、X球顶安装连接块、球推杆、球头柱塞，所述X向丝杠与所述X轴驱动单元连接，所述X轴螺母块安装在所述X向丝杠上，所述X轴螺母块与所述X向推块连接，所述X球顶安装连接块上设有X向插槽，所述球推杆、球头柱塞安装在所述X向插槽的两侧，所述X向推块插在所述X向插槽之内，所述X向推块的两侧分别与所述球推杆、球头柱塞点接触，所述载物台中层模块通过Y轴进给机构与所述载物台上层模块连接，所述Y轴进给机构与所述X轴进给机构的结构相同，但安装方向相反。

作为本实用新型的进一步改进，所述X轴驱动单元、X向丝杠均安装在所述载物台底层模块上，所述X球顶安装连接块安装在所述载物台中层模块上。

作为本实用新型的进一步改进，所述载物台底层模块上设有X向直线导轨，所述载物台中层模块的底部连接有X向滑块，所述X向滑块与所述X向直线导轨滑动连接。

作为本实用新型的进一步改进，所述载物台中层模块上设有Y向直线导轨，所述载物台上层模块的底部连接有Y向滑块，所述Y向滑块与所述Y向直线导轨滑动连接。

作为本实用新型的进一步改进，所述载物台底层模块上设有X轴位置检测单元，所述载物台中层模块上设有Y轴位置检测单元。

作为本实用新型的进一步改进，所述载物台底层模块上设有X轴高精度玻璃光栅，所述载物台中层模块上设有Y轴高精度玻璃光栅。

作为本实用新型的进一步改进，所述球头柱塞与所述X向推块为弹性点接触，所述球推杆与所述X向推块为刚性点接触。