[实用新型]一种晶棒自动拼接设备有效
申请号: | 202022205357.7 | 申请日: | 2020-09-30 |
公开(公告)号: | CN213708550U | 公开(公告)日: | 2021-07-16 |
发明(设计)人: | 朱冬海;康新领;李阿康;景健;曾春伟;邝勇慧 | 申请(专利权)人: | 杭州中为光电技术有限公司 |
主分类号: | C30B33/06 | 分类号: | C30B33/06 |
代理公司: | 浙江英普律师事务所 33238 | 代理人: | 陈小良 |
地址: | 310030 浙江省杭州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 自动 拼接 设备 | ||
1.一种晶棒自动拼接设备,其特征在于:包括
用于安装各个部件的机架组件(1);
用于平移调整晶棒位置的水平移动组件(2);
用于放置短晶棒与长晶棒的短晶棒支撑组件(3)、长晶棒支撑组件(4);
用于驱动水平移动组件平移的伸缩机构(5);
用于固定夹紧短晶棒的锁紧机构(6);
用于防止晶棒偏移的弹性防偏组件(7);
机架组件(1)包括机架本体(11)、线性滑轨(12),线性滑轨(12)安装于机架本体(11)上;
水平移动组件(2)滑动安装于线性滑轨(12),水平移动组件(2)包括移动底座(21)、升降导向轴(22),升降导向轴(22)安装于移动底座(21)上;
短晶棒支撑组件(3)滑动设置于升降导向轴(22)上,短晶棒支撑组件(3)包括短支撑轮底座(31)、短支撑轮(32),两个短支撑轮(32)平行安装于短支撑轮底座(31)上;
长晶棒支撑组件(4)安装于机架本体(11)上,且位于短晶棒支撑组件(3)的一侧,长晶棒支撑组件(4)包括长支撑轮底座(41)、长支撑轮(42),两个长支撑轮(42)平行安装于长支撑轮底座(41)上;
伸缩机构(5)安装于机架本体(11)上,且驱动连接水平移动组件(2);伸缩机构(5)包括伺服电机(51)、减速机(52)、轴承座(53)、梯形丝杆(54),伺服电机(51)的输出端连接减速机(52)上,减速机(52)安装于轴承座(53)上,梯形丝杆(54)的一端连接减速机(52)的输出端,梯形丝杆(54)的另一端连接移动底座(21);
锁紧机构(6)安装于短支撑轮底座(31)一侧;锁紧机构(6)包括锁紧机构底座(61)、锁紧气缸(62)、锁紧块(63),锁紧块(63)的一端安装于锁紧机构底座(61)上,锁紧气缸(62)安装于锁紧气缸(62)的另一端;
弹性防偏组件(7)包括防偏底座(71)、缓冲垫片(72)、防偏组件导向轴(73)、螺钉(74)、弹簧(75)、直线轴承(76),两片缓冲垫片(72)安装于防偏底座(71)上,直线轴承(76)安装防偏底座(71)的四角,防偏组件导向轴(73)、螺钉(74)的下端均固定于短支撑轮底座(31)上,防偏组件导向轴(73)的另一端穿过防偏底座(71)、直线轴承(76),螺钉(74)的另一端固定于防偏底座(71)上,弹簧(75)设置于防偏底座(71)与短支撑轮底座(31)之间的螺钉(74)上。
2.如权利要求1所述的晶棒自动拼接设备,其特征在于:机架本体(11)由长晶棒支架(111)与短晶棒支架(112)组成,长晶棒支架(111)设置于短晶棒支架(112)的一侧,且高度高于短晶棒支架(112),水平移动组件(2)、伸缩机构(5)、、均安装于短晶棒支架(112)上。
3.如权利要求1所述的晶棒自动拼接设备,其特征在于:锁紧机构底座(61)上设有纵向滑轨(611),锁紧块(63)滑动安装于纵向滑轨(611)上。
4.如权利要求2所述的晶棒自动拼接设备,其特征在于:长晶棒支架(111)与短晶棒支架(112)为一体成型结构。
5.如权利要求1所述的晶棒自动拼接设备,其特征在于:缓冲垫片(72)与水平面之间存在5°-25°的夹角。
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