[实用新型]晶圆测试用旋转升降台

权利要求书

1.一种晶圆测试用旋转升降台，其特征在于，包括：驱动机构(1)、导向机构(2)、转动机构(3)、工作台(4)，所述导向机构(2)包括导向分支机构和旋转分支机构，所述导向分支机构与所述驱动机构(1)连接，所述旋转分支机构与所述转动机构(3)连接，所述工作台(4)与所述旋转分支机构连接，所述工作台(4)由所述驱动机构(1)驱动，在所述导向分支机构的导向下进行升降，并通过所述转动机构(3)与所述旋转分支机构的配合实现水平转动。

2.如权利要求1所述的晶圆测试用旋转升降台，其特征在于，所述驱动机构(1)包括底板(11)、丝杠组(12)、驱动电机(13)、驱动皮带(14)、同步带(15)；所述丝杠组(12)位于所述底板(11)的上方，并通过螺栓与所述底板(11)连接；所述驱动电机(13)位于所述底板(11)的上方，且所述驱动电机(13)与所述底板(11)通过螺栓连接；所述丝杠组(12)包括至少两个丝杆，各丝杆之间通过同步带(15)连接，其中的一个丝杆与所述驱动电机(13)通过所述驱动皮带(14)连接。

3.如权利要求2所述的晶圆测试用旋转升降台，其特征在于，所述导向分支机构包括基座(21)、主导向轴(22)、副导向轴(23)，轴座(24)；所述主导向轴(22)位于所述轴座(24)的中部，并通过螺栓与所述轴座(24)连接；所述轴座(24)位于所述基座(21)的中部，并通过螺栓与所述基座(21)连接；所述副导向轴(23)位于所述基座(21)的侧方，并通过螺栓与所述基座(21)连接。

4.如权利要求3所述的晶圆测试用旋转升降台，其特征在于，所述旋转分支机构包括轴承(25)和轴套(26)；所述轴承(25)位于所述基座(21)的内部，所述轴承(25)的外圈与所述基座(21)过盈配合；所述轴套(26)位于所述轴承(25)的内部，并与所述轴承(25)的内圈过盈配合；所述工作台(4)通过所述轴套(26)与所述旋转分支机构连接。

5.如权利要求3所述的晶圆测试用旋转升降台，其特征在于，在所述底板(11)上开设有轴套通孔，所述主导向轴(22)和所述副导向轴(23)的轴套安装在所述轴套通孔内；在所述基座(21)上开设有安装孔，在所述安装孔内安装丝母座，所述丝杠组(12)的丝母套装在所述丝母座内。

6.如权利要求3所述的晶圆测试用旋转升降台，其特征在于，所述主导向轴(22)的截面为三角形、圆形或方形。

7.如权利要求4所述的晶圆测试用旋转升降台，其特征在于，所述转动机构(3)包括：旋转电机(31)、底座(32)、转动丝杆(33)、两个随动轴承(34)、旋转驱动板(35)和两个限位块(36)；所述旋转电机(31)通过螺栓与所述底座(32)连接；所述底座(32)通过螺栓与所述基座(21)连接；转动丝杆(33)固定在上述底座(32)上；两个所述随动轴承(34)螺纹连在所述转动丝杆(33)上，对称分布在所述旋转驱动板(35)的两侧，将所述旋转驱动板(35)的一端夹紧；所述两个限位块(36)分别固定在所述底座(32)上，所述两个限位块之间形成限位通孔，所述旋转驱动板(35)的另一端穿过所述限位通孔与所述轴套(26)通过螺钉连接。

8.如权利要求7所述的晶圆测试用旋转升降台，其特征在于，所述随动轴承(34)的外轮廓曲线为阿基米德曲线。

9.如权利要求4所述的晶圆测试用旋转升降台，其特征在于，工作台(4)包括工作盘(41)、基座盘(42)和基底(43)；其中，所述工作盘(41)位于所述基座盘(42)的上方，所述工作盘(41)与所述基座盘(42)通过螺栓连接；所述基座盘(42)位于所述基底(43)的上方，且与所述基底(43)通过螺栓连接；所述基底(43)与所述轴套(26)通过螺栓连接。