[实用新型]用于退火炉炉腔增湿的露点控制装置

权利要求书

1.一种用于退火炉炉腔增湿的露点控制装置，包括退火炉(1)，退火炉(1)的炉腔内设有露点传感器(11)，退火炉(1)上设有增湿气进口，其特征是：还包括水箱(2)和控制器(6)，

水箱(2)内灌注不超过容积1/2的纯水，水箱(2)内设有加热器(21)和雾化器(22)，加热器(21)没在所述纯水水面下，雾化器(22)设于所述纯水水面上方，水箱(2)的一侧设有液位计(23)，水箱(2)的另一侧设有水温传感器(24)和气压传感器(25)，水箱(2)上分别设有贯通内腔的进水口、出水口、排水口、泄压口、进气口和输气口，所述进水口、所述泄压口和所述输气口这三者都高于所述纯水水面，所述出水口和所述排水口都设于水箱(2)的底部，所述进气口低于所述纯水水面；

主进水管(31)的进水端连接纯水源，主进水管(31)上串联进水阀(41)，主进水管(31)的出水端连接水箱(2)的进水口，雾化水管(32)的进水端连接水箱(2)的出水口，雾化水管(32)上依次串联循环水泵(51)和雾化流量计(52)，雾化水管(32)的出水端连接雾化器(22)的进水口，排水管(33)的进水端连接水箱(2)的排水口，排水管(33)上串联排水阀(42)，泄压管(34)的进气端连接水箱(2)的泄压口，泄压管(34)上串联泄压阀(43)，排水管(33)的排水端和泄压管(34)的泄气端都连接主排水管(35)；

增湿管(36)的进气端连接水箱(2)的输气口，三通接头(53)有两个进口和一个出口，三通接头(53)以一个进口和一个出口串联在增湿管(36)上，增湿管(36)的出气端连接退火炉(1)的增湿气进口；

主输气管(37)的进气端连接氮气源，主输气管(37)上依次串联总进气阀(44)和减压阀(45)，主输气管(37)的出气端分别连接湿路输气管(38)和干路输气管(39)这两者的进气端，湿路输气管(38)上依次串联湿路流量计(54)和调节阀(46)，湿路输气管(38)的出气端连接水箱(2)的进气口，干路输气管(39)上依次串联干路流量计(55)和调节阀(46)，干路输气管(39)的出气端连接三通接头(53)的另一个进口；

进水阀(41)、排水阀(42)、泄压阀(43)、总进气阀(44)、减压阀(45)和调节阀(46)都选用电磁阀，露点传感器(11)、加热器(21)、雾化器(22)、液位计(23)、水温传感器(24)、气压传感器(25)、进水阀(41)、排水阀(42)、泄压阀(43)、总进气阀(44)、减压阀(45)、调节阀(46)、循环水泵(51)、雾化流量计(52)、湿路流量计(54)和干路流量计(55)都通过信号线连接控制器(6)。

2.如权利要求1所述的用于退火炉炉腔增湿的露点控制装置，其特征是：增湿管(36)上设有电伴热装置(56)，雾化流量计(52)选用超声波流量计，控制器(6)选用可编程控制器，控制器(6)的输入输出设备选用液晶触摸屏。