[实用新型]一种半导体制备扩散炉

说明书

本实用新型公开了半导体制备技术领域的一种半导体制备扩散炉，包括扩散炉主体，所述扩散炉主体左端设置有石英炉门，所述石英炉门内侧设置有保温桶，所述扩散炉主体内部固定设置有滑道，所述滑道上滑动装配有石英舟，所述石英舟的左边设置有挡板，所述挡板通过吊环挂设在扩散炉主体内壁顶端，所述石英舟上方设置有喷淋管，所述石英舟下方设置有排废管，所述排废管旁边设置有TC管，所述喷淋管和排废管均从扩散炉主体右端穿入，所述扩散炉主体右端中间固定设置有进气管，所述进气管内侧设置有匀流板。本实用性性通过以上设计优化，结构简单，密封效果好，喷淋管喷淋均匀，保温隔热效果好，提高了扩散均匀性，实用性强。

技术领域

本实用新型涉及半导体制备技术领域，具体为一种半导体制备扩散炉。

背景技术

常规的化石燃料日益消耗殆尽，在现有的可持续能源中，太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。光伏发电是利用太阳光能使半导体电子器件有效地吸收太阳光辐射能，并使之转变成电能的直接发电方式，是当今太阳光发电的主流。时下，人们通常所说太阳光发电就是太阳能光伏发电，亦称太阳能电池发电。可以将太阳能直接转换成电能，其发电原理是基于半导体PN结的光生伏特效应。其中，晶体硅太阳能电池由于丰富的硅储量得到了广泛应用。

现有的晶体硅太阳能电池的制备工艺如下：清洗制绒→扩散→刻蚀/去PSG→PECVD→丝网印刷→烧结→测试分档→分选→包装。其中扩散工序通常采用扩散炉，携带有扩散源的载气进入扩散炉中对待扩散晶体硅进行扩散。

然而，实际应用中发现：现有的石英扩散炉的密封效果不好、喷淋管喷淋不均匀和隔热不好，导致浪费了很多能源，降低了生产效率，对生产工艺产生很大影响。为此，我们提出一种半导体制备扩散炉。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体制备扩散炉，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体制备扩散炉，包括扩散炉主体，所述扩散炉主体左端设置有石英炉门，所述石英炉门内侧设置有保温桶，所述扩散炉主体内部固定设置有滑道，所述滑道上滑动装配有石英舟，所述石英舟的左边设置有挡板，所述挡板通过吊环挂设在扩散炉主体内壁顶端，所述石英舟上方设置有喷淋管，所述石英舟下方设置有排废管，所述排废管旁边设置有TC管，所述喷淋管和排废管均从扩散炉主体右端穿入，所述扩散炉主体右端中间固定设置有进气管，所述进气管内侧设置有匀流板。

优选的，所述石英炉门内侧边沿处设置有环形凹槽，所述环形凹槽内设置有密封圈，所述环形凹槽内侧设置有圆形凸台，所述环形凹槽卡在扩散炉主体左端口上，所述圆形凸台卡进扩散炉主体左端口内。

优选的，所述保温桶由多组结构相同的石英片和石英支柱组成，且所述石英片相互平行，所述石英片为不透明石英材质，所述石英片之间通过石英支柱焊接连接。

优选的，所述喷淋管上均匀开设有若干组喷淋孔，所述喷淋孔的直径从右至左逐渐增大，所述喷淋管内通入喷淋保护气体三氯氧磷。

优选的，所述匀流板上均匀设置有若干组结构相同的散气孔。

优选的，所述TC管设置有热电偶，所述进气管内通入氧气。

优选的，所述扩散炉主体内壁上焊接有固定环，所述喷淋管上设置有三组固定环，所述排废管上设置有三组固定环，所述TC管上设置有两组固定环。