[实用新型]一种旋转靶材多段连接喷涂装置

权利要求书

1.一种旋转靶材多段连接喷涂装置，其特征在于：包括衬管、单向法兰、双项法兰、固定芯轴、紧固螺母，所述衬管一端设有单向法兰，另一端设有双向法兰，所述单向法兰与双向法兰的中心位置均开设有通孔，所述通孔内套装有固定芯轴，所述固定芯轴的两端均旋装有紧固螺母。

2.根据权利要求1所述的一种旋转靶材多段连接喷涂装置，其特征在于：所述单向法兰与双向法兰的通孔周边均布有通水孔。

3.根据权利要求1所述的一种旋转靶材多段连接喷涂装置，其特征在于：所述单向法兰的一侧与双向法兰的两侧外沿处均设有保护套，所述保护套可根据喷涂靶材的涂层厚度来设计为多种尺寸。

4.根据权利要求1所述的一种旋转靶材多段连接喷涂装置，其特征在于：所述单向法兰的一侧与双向法兰的两侧均设有与衬管内壁相配合的环型凸台，所述环型凸台的外壁上开设有环型密封槽，所述环型密封槽内套卡有密封胶圈。

5.根据权利要求4所述的一种旋转靶材多段连接喷涂装置，其特征在于：所述密封胶圈采用氟橡胶、硅橡胶和丁腈橡胶材料的任意一种制成。

6.根据权利要求1所述的一种旋转靶材多段连接喷涂装置，其特征在于：所述固定芯轴为空心结构，其固定芯轴的直线度和两端的同轴度均为0.05mm。

7.根据权利要求1所述的一种旋转靶材多段连接喷涂装置，其特征在于：所述固定芯轴的长度可根据生产需求设置为多个不同型号，其固定芯轴上套装的单向法兰和双向法兰可根据生产需求随意添加更换。