[实用新型]一种旋转靶材多段连接喷涂装置

说明书

本实用新型公开了一种旋转靶材多段连接喷涂装置，包括衬管、单向法兰、双项法兰、固定芯轴、紧固螺母，所述衬管一端设有单向法兰，另一端设有双向法兰，所述单向法兰与双向法兰的中心位置均开设有通孔，所述通孔内套装有固定芯轴，所述固定芯轴的两端均旋装有紧固螺母。本实用新型结构简单紧凑、制造成本低，操作时方便快捷，在喷涂过程衬管的密封良好不漏水，跳动稳定，靶材两端保护距离稳定可控，多支喷涂涂层质量与单支喷涂涂层质量相同，有效的节省了大量安装、拆卸、开机准备工作，生产效率明显提高。

技术领域

本实用新型属于靶材技术领域，具体涉及一种旋转靶材多段连接喷涂装置。

背景技术

溅射靶材主要应用于电子、信息产业，如集成电路、光通信、信息存储等；还可应用于装饰、太阳能光伏、建筑汽车大面积玻璃、平面显示、光学等领域，在现有技术中，发明专利CN 108570637 A公开了一种热喷涂旋转靶材设备工装，包括驱动装置、冷却装置、尾座、锁紧等装置。目前生产等喷涂靶材大多采用这种结构，但是该结构在生产时安装、卸载麻烦，特别是在有密封舱保护的正压、负压或气氛保护下，需要抽真空、充气、再抽气等过程，需要时间较长，生产效率低下。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供了一种多段靶材串联组合，实现一次安装喷涂多支靶材，提高热喷涂生产效率的旋转靶材多段连接喷涂装置。

为了达到上述设计目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种旋转靶材多段连接装置，包括衬管、单向法兰、双项法兰、固定芯轴、紧固螺母，所述衬管一端设有单向法兰，另一端设有双向法兰，所述单向法兰与双向法兰的中心位置均开设有通孔，所述通孔内套装有固定芯轴，所述固定芯轴的两端均旋装有紧固螺母。

所述单向法兰与双向法兰的通孔周边均布有通水孔。

所述单向法兰的一侧与双向法兰的两侧外沿处均设有保护套，所述保护套可根据喷涂靶材的涂层厚度来设计为多种尺寸。

所述单向法兰的一侧与双向法兰的两侧均设有与衬管内壁相配合的环型凸台，所述环型凸台的外壁上开设有环型密封槽，所述环型密封槽内套卡有密封胶圈。

所述密封胶圈采用氟橡胶、硅橡胶和丁腈橡胶材料的任意一种制成。

所述固定芯轴为空心结构，其固定芯轴的直线度和两端的同轴度均为0.05mm。

所述固定芯轴的长度可根据生产需求设置为多个不同型号，其固定芯轴上套装的单向法兰和双向法兰可根据生产需求随意添加更换。

本实用新型有益效果：单向法兰的一侧与双向法兰的两侧均设置的与衬管内壁相配合的环型凸台，而环型凸台的外壁上开设的环型密封槽及环型密封槽内套卡的密封胶圈，在实际生产时可以较好的减小衬管的跳动问题，固定芯轴为空心结构，具备中间可以通冷却水功能，固定芯轴两端有旋装的紧固螺母，有效的降低了衬管跳动现象，防止在喷涂过程中由于旋转松动，单向法兰的一侧与双向法兰的两侧外沿处均设置的保护套主要是为了保护衬管端头的加工部分。本实用新型结构简单紧凑、制造成本低，操作时方便快捷，提高了衬管在喷涂过程衬管的密封良好不漏水，跳动，靶材两端保护距离稳定可控，多支喷涂涂层质量与单支喷涂涂层质量相同，有效的节省了大量安装、拆卸、开机准备工作，生产效率明显提高。

附图说明

图 1 为本实用新型一种旋转靶材多段连接喷涂装置示意图；

图2为本实用新型一种旋转靶材多段连接喷涂装置剖视示意图；

图3为本实用新型双向法兰侧视示意图。

具体实施方式