[实用新型]一种背面感压绝压压力传感器有效
| 申请号： | 202022214591.6 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN213148183U | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 戴志华;蔡春梅;翁新全;许静玲;柯银鸿 | 申请（专利权）人： | 厦门乃尔电子有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/06 | 分类号： | G01L9/06;G01L19/14;G01L19/00 |
| 代理公司： | 北京康盛知识产权代理有限公司 11331 | 代理人： | 梁锦平 |
| 地址： | 361000 福建省厦*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 背面 感压绝 压压 传感器 | ||
1.一种背面感压绝压压力传感器，其特征在于：其包括
外壳体，所述外壳体上设有安装部以及穿过安装部与外部连通的第一导压孔；
压力敏感芯片，所述压力敏感芯片安装在外壳体内，所述压力敏感芯片的上部集成有电气元件以及感压膜片，所述压力敏感芯片的下部设有第二导压孔，所述第二导压孔的一端密封连接至感压膜片的背面，另一端与第一导压孔密封连接；
以及连接线路，所述连接线路的一端伸出外壳体，另一端伸入外壳体后连接至压力敏感芯片的上部。
2.如权利要求1所述的一种背面感压绝压压力传感器，其特征在于：所述外壳体包括后盖、密封盖以及基座；所述密封盖的两端分别与后盖和基座密封连接；所述后盖和密封盖之间形成第一容腔；所述基座和密封盖之间形成第二容腔。
3.如权利要求2所述的一种背面感压绝压压力传感器，其特征在于：所述压力敏感芯片为表压压力敏感芯片，第二容腔为真空容腔。
4.如权利要求2所述的一种背面感压绝压压力传感器，其特征在于：所述压力敏感芯片为绝压压力敏感芯片，第二容腔为非真空容腔。
5.如权利要求2所述的一种背面感压绝压压力传感器，其特征在于：所述连接线路包括电缆线、电路板、金属引线、绑线板以及金丝；所述电路板和绑线板分别配合在第一容腔和第二容腔内；所述电缆线穿设在后盖上，所述电缆线的一端连接至电路板上，另一端伸出后盖；所述金属引线穿设在密封盖上，所述金属引线的两端分别与电路板和绑线板电性连接；所述绑线板通过金丝与压力敏感芯片电性连接。
6.如权利要求5所述的一种背面感压绝压压力传感器，其特征在于：所述绑线板粘贴固定在基座上。
7.如权利要求5所述的一种背面感压绝压压力传感器，其特征在于：所述密封盖上固定有玻璃绝缘套，所述金属引线穿设在玻璃绝缘套内。
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