[实用新型]一种应用于长晶组件的测量及定位装置

权利要求书

1.一种应用于长晶组件的测量及定位装置，其特征在于，所述长晶组件包括具有开放空腔的第一石墨件，所述装置包括：

载物台，用于承载所述第一石墨件；

所述载物台的外侧设有第一测距器和第二测距器，所述第一测距器用于测量其到所述第一石墨件的外壁之间的距离，所述第二测距器用于测量其到所述第一石墨件的空腔侧壁之间的距离。

2.根据权利要求1所述的应用于长晶组件的测量及定位装置，其特征在于，所述载物台是石墨托盘，所述石墨托盘的底部连接有旋转轴和用于驱动所述旋转轴的旋转电机。

3.根据权利要求1所述的应用于长晶组件的测量及定位装置，其特征在于，所述长晶组件还包括第二石墨件，所述第二石墨件在使用状态下位于所述第一石墨件的底部；

所述第一测距器连接有第一升降杆，以使得所述第一测距器测量其到所述第二石墨件之间的距离。

4.根据权利要求3所述的应用于长晶组件的测量及定位装置，其特征在于，所述装置包括多个第一测距器，所述多个第一测距器与所述载物台之间的距离相等。

5.根据权利要求3所述的应用于长晶组件的测量及定位装置，其特征在于，所述第一石墨件是石墨坩埚，所述第二石墨件是保温石墨块。

6.根据权利要求1所述的应用于长晶组件的测量及定位装置，其特征在于，所述装置还包括测量数据显示器，所述测量数据显示器与所述第一测距器和/或所述第二测距器电连接。

7.根据权利要求1-6任一所述的应用于长晶组件的测量及定位装置，其特征在于，所述装置还包括柜体，所述载物台、第一测距器和第二测距器安装在所述柜体的内部。

8.根据权利要求7所述的应用于长晶组件的测量及定位装置，其特征在于，所述第二测距器连接有第二升降杆，所述第二测距器通过所述第二升降杆安装在所述柜体的内侧顶部。

9.根据权利要求7所述的应用于长晶组件的测量及定位装置，其特征在于，所述柜体的底部外侧还设有柜体支撑架。

10.根据权利要求1所述的应用于长晶组件的测量及定位装置，其特征在于，所述第一测距器和/或所述第二测距器选自红外测距仪、激光测距仪和超声波测距仪中的一种或多种。