[实用新型]超净乙硅烷制备的分子筛吸附器

权利要求书

1.一种超净乙硅烷制备的分子筛吸附器，包括有下上设置的筒状的第一吸附器（1）和第二吸附器（2），其特征在于：所述第一吸附器（1）和第二吸附器（2）内中间上部均设置有中心空心筒状的分子筛（3），分子筛（3）底部呈向外侧上方倾斜状便于导气，分子筛（3）内部为顶部开口底部密封的通过孔（4），分子筛（3）下部为进气区（5），第一吸附器（1）和第二吸附器（2）底部分别设置有第一进气口（6）和第二进气口（7）；第一吸附器（1）顶部位于通过孔（4）处设置有第一出气管（8），第一出气管（8）连接在第二进气口（7）上，第一出气管（8）右侧连接有第一排气管（9）；第二吸附器（2）顶部位于通过孔（4）处设置有第二出气管（10），第二出气管（10）右侧连接有第二排气管（11）；第一排气管（9）和第二排气管（11）共同连接有排气总管（12），排气总管（12）连接有储气罐（13）；第二吸附器（2）前后两侧设置有侧平台（14），侧平台（14）往下设置有支撑脚（15）；第一吸附器（1）底部和储气罐（13）底部均设置有支撑架（16）。

2.如权利要求1所述超净乙硅烷制备的分子筛吸附器，其特征在于：所述第一出气管（8）上位于第一排气管（9）上方设置有出气阀门（17）；第一排气管（9）和第二排气管（11）上设置有排气阀门（18）；排气总管（12）与储气罐（13）连接处设置有排气泵（19）。

3.如权利要求1所述超净乙硅烷制备的分子筛吸附器，其特征在于：所述支撑脚（15）侧面设置有爬梯（20）。

4.如权利要求2所述超净乙硅烷制备的分子筛吸附器，其特征在于：所述第一出气管（8）侧面位于出气阀门（17）下方设置有取样检测口（21）。