[实用新型]超净乙硅烷制备的分子筛吸附器

说明书

本实用新型的目的是提供一种超净乙硅烷制备的分子筛吸附器，通过设置上下的第二吸附器和第一吸附器对物料进行吸附净化，首先物料进入到第一吸附器内在进气区，之后物料经过分子筛进入到通孔内，通过分子筛吸附，分子筛底部呈向外侧上方倾斜状便于导气顺畅，之后物料通过第一出气管出气，物料可选择性的通过第一排气管排气或进入到第二吸附器进行二次吸附，适应性好，设置取料检测口取料进行检测，方便选择二次吸附或直接排气，吸附过的物料通过排气总管排气道储气罐内，第二吸附器通过侧平台和支撑脚支撑，设置爬梯方便爬上侧平台对第二吸附器进行维修处理，操作方便，吸附效果好。

技术领域

本实用新型涉及超净乙硅烷制备领域，尤其涉及一种超净乙硅烷制备的分子筛吸附器。

背景技术

乙硅烷是一种无机化合物，其化学式为Si2H6，在常温常压下为无色透明具有不愉快刺激臭的有毒气体。它具有与硅烷类似的化学性质，但其反应性比硅烷更强。主要用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相沉积等方面。乙硅烷的制备过程中需要对其进行用分子筛进行净化，目前的分子筛吸附器只有单个的，有的情况需要二次吸附，目前缺少这样的设备。因此解决这一问题就显得十分必要了。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供一种超净乙硅烷制备的分子筛吸附器，通过设置上下的第二吸附器和第一吸附器对物料进行吸附净化，首先物料进入到第一吸附器内在进气区，之后物料经过分子筛进入到通孔内，通过分子筛吸附，分子筛底部呈向外侧上方倾斜状便于导气顺畅，之后物料通过第一出气管出气，物料可选择性的通过第一排气管排气或进入到第二吸附器进行二次吸附，适应性好，设置取料检测口取料进行检测，方便选择二次吸附或直接排气，吸附过的物料通过排气总管排气道储气罐内，第二吸附器通过侧平台和支撑脚支撑，设置爬梯方便爬上侧平台对第二吸附器进行维修处理，操作方便，吸附效果好，解决了背景技术中出现的问题。

本实用新型的目的是提供一种超净乙硅烷制备的分子筛吸附器，包括有下上设置的筒状的第一吸附器和第二吸附器，所述第一吸附器和第二吸附器内中间上部均设置有中心空心筒状的分子筛，分子筛底部呈向外侧上方倾斜状便于导气，分子筛内部为顶部开口底部密封的通过孔，分子筛下部为进气区，第一吸附器和第二吸附器底部分别设置有第一进气口和第二进气口；第一吸附器顶部位于通过孔处设置有第一出气管，第一出气管连接在第二进气口上，第一出气管右侧连接有第一排气管；第二吸附器顶部位于通过孔处设置有第二出气管，第二出气管右侧连接有第二排气管；第一排气管和第二排气管共同连接有排气总管，排气总管连接有储气罐；第二吸附器前后两侧设置有侧平台，侧平台往下设置有支撑脚；第一吸附器底部和储气罐底部均设置有支撑架。

进一步改进在于：所述第一出气管上位于第一排气管上方设置有出气阀门；第一排气管和第二排气管上设置有排气阀门；排气总管与储气罐连接处设置有排气泵。

进一步改进在于：所述支撑脚侧面设置有爬梯。

进一步改进在于：所述第一出气管侧面位于出气阀门下方设置有取样检测口。

本实用新型的有益效果：本实用新型通过设置上下的第二吸附器和第一吸附器对物料进行吸附净化，首先物料进入到第一吸附器内在进气区，之后物料经过分子筛进入到通孔内，通过分子筛吸附，分子筛底部呈向外侧上方倾斜状便于导气顺畅，之后物料通过第一出气管出气，物料可选择性的通过第一排气管排气或进入到第二吸附器进行二次吸附，适应性好，设置取料检测口取料进行检测，方便选择二次吸附或直接排气，吸附过的物料通过排气总管排气道储气罐内，第二吸附器通过侧平台和支撑脚支撑，设置爬梯方便爬上侧平台对第二吸附器进行维修处理，操作方便，吸附效果好。

附图说明

图1是本实用新型的示意图。

图2是本实用新型第二吸附器处的侧视图。