[实用新型]一种射频滤波器有效
| 申请号： | 202022223258.1 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN212435659U | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 缪建民;张金姣 | 申请（专利权）人： | 迈感微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201313 上海市浦东新区万*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 射频 滤波器 | ||
【权利要求书】：
1.一种射频滤波器，其特征在于，包括：衬底、上电极层、下电极层、加热层和氮化镓层；
所述衬底包括通孔区；
所述下电极层设置于所述衬底的一侧；
所述加热层设置于所述衬底远离所述下电极层的一侧，所述下电极层和所述加热层在所述通孔区相接触；
所述氮化镓层设置于所述加热层远离所述衬底的一侧；
所述上电极层设置于所述氮化镓层远离所述衬底的一侧。
2.根据权利要求1所述的射频滤波器，其特征在于，还包括：第一加热电极和第二加热电极；
所述第一加热电极和所述第二加热电极位于所述加热层远离所述衬底的表面，且所述第一加热电极和所述第二加热电极与所述氮化镓层不接触。
3.根据权利要求2所述的射频滤波器，其特征在于，所述第一加热电极和所述第二加热电极位于所述加热层相对的两侧。
4.根据权利要求1所述的射频滤波器，其特征在于，所述衬底的材料包括硅、氮化镓或蓝宝石。
5.根据权利要求1所述的射频滤波器，其特征在于，所述加热层的厚度为5～100纳米。
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