[实用新型]一种真空环境中使用的气缸组件震动和真空检测治具有效
| 申请号： | 202022227190.4 | 申请日： | 2020-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN213812718U | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 陈兴;韩晓光 | 申请（专利权）人： | 沈阳富创精密设备股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 孙奇 |
| 地址： | 110000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 环境 使用 气缸 组件 震动 检测 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空环境中使用的气缸组件震动和真空检测治具，其特征在于，包括控制主机，上限位传感器，下限位传感器，震动传感器，测试真空腔，真空计，氦测仪，气缸组件；控制主机通过线路与震动传感器连接；控制主机通过气路与气缸组件连接，气缸组件侧壁上设有振动传感器；控制主机通过线路与上限位传感器和下限位传感器连接；在气缸组件内设置有上限位传感器和下限位传感器；气缸组件底部与测试真空腔连接；测试真空腔与氦测仪连接，测试真空腔通过设有真空计的气路与控制主机连接。
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