[实用新型]一种真空环境中使用的气缸组件震动和真空检测治具

说明书

本实用新型公开一种真空环境中使用的气缸组件震动真空检测治具，包括控制主机，限位传感器，震动传感器，测试真空腔，真空计，氦测仪组成。使用操作方便，可以准确测试到气缸组件在运动过程中的震动值及对真空密封的影响，满足客户对气缸性能的检测需求，通过控制主机，可以实时监测测试过程中的震动值及真空度的变化，测试完成后可以直接生成性能测试报告，避免人工读取和测量带来的误差，保证了测试结果的准确性。极大提高了气缸运动性能的检测结果准确性，保证产品品质。

技术领域

本实用新型涉及设备气缸模块检测领域，具体说是一种真空环境中使用的气缸组件震动和真空检测治具。

背景技术

随着真空设备的不断发展，产品最终真空性能要求越来越高，随之而来的对真空设备中运动部件的密封性要求也随之提升。气缸组件在最终组装前的震动和真空检测也随之而来。如何在最终产品组装前准确的检测气缸组件的震动和真空性能成为产品最终组装效率和性能提升的关键。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供真空环境中使用的一种气缸组件震动和真空检测治具，可检测气缸组件运动过程中的震动值和真空值的变化，检测结果准确，结果输出更方便。可快速对气缸组件进行检测，适用于使用在真空环境中使用的气缸组件产品的生产过程中。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种真空环境中使用的气缸组件震动真空检测治具，包括控制主机，上限位传感器，下限位传感器，震动传感器，测试真空腔，真空计，氦测仪，气缸组件；控制主机通过线路与震动传感器连接；控制主机通过气路与气缸组件连接，气缸组件侧壁上设有振动传感器；控制主机通过线路与上限位传感器和下限位传感器连接；在气缸组件内设置有上限位传感器和下限位传感器；气缸组件底部与测试真空腔连接；测试真空腔与氦测仪连接，测试真空腔通过设有真空计的气路与控制主机连接。

本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型采用集成控制和检测于一体的控制主机，可实现一站式的控制和检测及结果输出功能。

2、本实用新型采用电气传感器，包括气缸限位传感器和震动传感器，可以读取气缸本身的运动位置信息和震动信息。

3、本实用新型采用模拟气缸组件实际使用过程中的真空环境，测试真空腔通过氦测仪及真空计实现真空环境和真空环境的实时监测。

附图说明

图1为实用新型的整体结构示意图。

具体实施方式

下面结合说明书附图1及附图标记对本实用新型进一步详细说明。

如图1所示，

一种真空环境中使用的气缸组件震动真空检测治具，包括控制主机1，上限位传感器2，下限位传感器3，震动传感器4，测试真空腔5，真空计6，氦测仪7，气缸组件8；控制主机1通过线路与震动传感器4连接；控制主机1通过气路与气缸组件8连接，气缸组件8侧壁上设有振动传感器4；控制主机1通过线路与上限位传感器2和下限位传感器3连接；在气缸组件8内设置有上限位传感器2和下限位传感器3；气缸组件8底部与测试真空腔5连接；测试真空腔5与氦测仪7连接，测试真空腔5通过设有真空计6的气路与控制主机1连接。控制主机1通过显示器显示9测试结果。

使用环境为图1中所示被测气缸组件进行测试的过程，被测气缸组件通过螺钉安装在测试真空腔上，振动传感器安装于气缸缸体外侧，氦测仪及真空计连接在测试真空腔上，提供测试所需真空环境和实时监测，通过控制主机开关控制检测的开始与结束。

实施例