[实用新型]一种洁净室微尘粒子分析与AMC气体分析系统有效
| 申请号： | 202022229155.6 | 申请日： | 2020-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN213181162U | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 田晓芳 | 申请（专利权）人： | 南京君之晔科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/06 | 分类号： | G01N15/06 |
| 代理公司： | 上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105 | 代理人： | 周涛 |
| 地址： | 210046 江苏省南京市江北*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 洁净室 微尘 粒子 分析 amc 气体 系统 | ||
1.一种洁净室微尘粒子分析与AMC气体分析系统，包括箱体(3)，其特征在于：所述箱体(3)的内壁固定连接有第二真空泵(15)、储气罐(18)、微尘粒子检测仪(20)和AMC气体检测仪(22)，所述储气罐(18)的侧壁贯穿固定连接有第一连接管(19)和第二连接管(21)，所述第一连接管(19)的一端与微尘粒子检测仪(20)的检测端固定连接，所述第二连接管(21)的一端与AMC气体检测仪(22)的检测端固定连接，所述储气罐(18)顶部贯穿固定连接有第一排气管(4)，所述第二真空泵(15)的进口端固定连接有第四进气管(14)，所述第二真空泵(15)的出口端固定连接有第一进气管(7)，所述第一进气管(7)的一端贯穿于储气罐(18)的侧壁后伸至其内腔，所述箱体(3)的侧壁固定连接有进气桶(9)，所述第四进气管(14)的一端贯穿于进气桶(9)的侧壁后伸至其内腔，所述进气桶(9)的侧壁固定连接有若干个进气机构(23)，所述进气机构(23)包括第二进气管(10)、第二阀门(11)、第三进气管(12)和进气斗(13)，所述第二进气管(10)的一端贯穿于进气桶(9)的侧壁后伸至其内腔，所述第二进气管(10)的另一端与第二阀门(11)的一端固定连接，所述第二阀门(11)的另一端与第三进气管(12)的一端固定连接，所述第三进气管(12)的另一端与进气斗(13)的一端固定连接。
2.根据权利要求1所述的洁净室微尘粒子分析与AMC气体分析系统，其特征在于：所述第一排气管(4)上方设置有第一真空泵(5)，所述第一排气管(4)顶端与第一真空泵(5)的进口端固定连接，所述第一真空泵(5)的出口端固定连接有第二排气管(6)。
3.根据权利要求1所述的洁净室微尘粒子分析与AMC气体分析系统，其特征在于：所述储气罐(18)的侧壁固定连接有开关(17)。
4.根据权利要求1所述的洁净室微尘粒子分析与AMC气体分析系统，其特征在于：所述箱体(3)的前表面对称固定连接有两个滑轨(8)，两个所述滑轨(8)的外壁共同滑动连接有门板(2)，所述门板(2)的后表面与箱体(3)的前表面贴合，所述门板(2)的前表面固定连接有把手(1)。
5.根据权利要求1所述的洁净室微尘粒子分析与AMC气体分析系统，其特征在于：所述箱体(3)底部对称固定连接有四个支撑腿(16)。
6.根据权利要求1所述的洁净室微尘粒子分析与AMC气体分析系统，其特征在于：所述第二真空泵(15)、第一真空泵(5)、微尘粒子检测仪(20)和AMC气体检测仪(22)均通过导线与开关(17)电连接，所述开关(17)通过导线与外部电源电连接。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京君之晔科技有限公司，未经南京君之晔科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202022229155.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
