[实用新型]一种洁净室微尘粒子分析与AMC气体分析系统

说明书

本实用新型公开了一种洁净室微尘粒子分析与AMC气体分析系统，包括箱体、储气罐和微尘粒子检测仪。开启相应的第二阀门，同时关闭其他通道的的第二阀门，进而通过开关启动第二真空泵、微尘粒子检测仪和AMC空气检测仪，第二真空泵将相应的进气斗一端的空气输送至储气罐内，进气桶中的空气通过第一连接管输送至微尘粒子检测仪的检测端对空气中的微尘颗粒进行检测，进气桶中的空气输送至AMC空气检测仪的检测端对空气分子污染物进行检测，第一真空泵将储气罐内的空气通过第二排气管输送至外界，待储气罐内的空气排空后，再关闭第一真空泵，开启相应的第二阀门，再关闭其他通道的第二阀门，进而便于对洁净室内的多个位置的空气进行检测分析。

技术领域

本实用新型涉及一种微尘粒子分析与AMC气体分析系统，具体是一种洁净室微尘粒子分析与AMC气体分析系统。

背景技术

洁净室，亦称无尘车间、无尘室或清净室。是指一个具有低污染水平的环境，这里所指的污染来源有灰尘，空气传播的微生物，悬浮颗粒，和化学挥发性气体。更准确地讲，一个净室具有一个受控的污染级别，污染级别可用每立方米的颗粒数，或者用最大颗粒大小来厘定的。低级别的净室通常是没有经过消毒的(如没有受控的微生物)，更多的是关心空气传播的灰尘。净室被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业，例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药、医院等行业等，其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内，才不会对制程产生影响。作为生产设施，净室可以占据厂房很多位置。对于洁净室内空气中的微尘粒子的检测是通过微尘粒子检测仪来进行检测的，对于空气分子污染物则是通过、AMC气体检测仪进行检测的。

现有对洁净室内空气中的微尘粒子与空气分子污染物进行检测分析时，大多数只能对洁净室内空气中一个位置的微尘粒子和空气分子污染物进行检测，不能对多个位置进行检测，使得人员对洁净室内的空气质量了解较为片面，因此需要对其进行进一步改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种洁净室微尘粒子分析与AMC气体分析系统，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种洁净室微尘粒子分析与AMC气体分析系统，包括箱体，所述箱体的内壁固定连接有第二真空泵、储气罐、微尘粒子检测仪和AMC气体检测仪，所述储气罐的侧壁贯穿固定连接有第一连接管和第二连接管，所述第一连接管的一端与微尘粒子检测仪的检测端固定连接，所述第二连接管的一端与AMC气体检测仪的检测端固定连接，所述储气罐顶部贯穿固定连接有第一排气管，所述第二真空泵的进口端固定连接有第四进气管，所述第二真空泵的出口端固定连接有第一进气管，所述第一进气管的一端贯穿于储气罐的侧壁后伸至其内腔，所述箱体的侧壁固定连接有进气桶，所述第四进气管的一端贯穿于进气桶的侧壁后伸至其内腔，所述进气桶的侧壁固定连接有若干个进气机构，所述进气机构包括第二进气管、第二阀门、第三进气管和进气斗，所述第二进气管的一端贯穿于进气桶的侧壁后伸至其内腔，所述第二进气管的另一端与第二阀门的一端固定连接，所述第二阀门的另一端与第三进气管的一端固定连接，所述第三进气管的另一端与进气斗的一端固定连接。

作为本实用新型进一步的方案：所述第一排气管上方设置有第一真空泵，所述第一排气管顶端与第一真空泵的进口端固定连接，所述第一真空泵的出口端固定连接有第二排气管。

作为本实用新型再进一步的方案：所述储气罐的侧壁固定连接有开关。

作为本实用新型再进一步的方案：所述箱体的前表面对称固定连接有两个滑轨，两个所述滑轨的外壁共同滑动连接有门板，所述门板的后表面与箱体的前表面贴合，所述门板的前表面固定连接有把手。

作为本实用新型再进一步的方案：所述箱体底部对称固定连接有四个支撑腿。

作为本实用新型再进一步的方案：所述第二真空泵、第一真空泵、微尘粒子检测仪和AMC气体检测仪均通过导线与开关电连接，所述开关通过导线与外部电源电连接。