[实用新型]扫描装置

权利要求书

1.一种扫描装置，包括：扫描头(1)，用于获取衬底的图像；支撑件(3)，与所述扫描头(1)相关联，用于支撑至少一个参考元件(4)，其特征在于，所述支撑件(3)能在活动位置(P1)和非活动位置(P2)之间移动，在所述活动位置中，所述扫描头(1)能获取所述至少一个参考元件(4)的图像，在所述非活动位置中，所述扫描头(1)能获取所述衬底的图像而不干扰所述支撑件(3)。

2.根据权利要求1所述的扫描装置，其特征在于，在所述活动位置(P1)中，所述支撑件(3)能由所述扫描头(1)检测，并且在所述非活动位置(P2)中，所述支撑件(3)在所述扫描头(1)的视野之外。

3.根据权利要求1所述的扫描装置，其特征在于，所述支撑件(3)连接到所述扫描头(1)，以便能相对于所述扫描头(1)在所述活动位置(P1)和所述非活动位置(P2)之间移动。

4.根据权利要求1所述的扫描装置，其特征在于，所述支撑件(3)能通过旋转运动而在所述活动位置(P1)和所述非活动位置(P2)之间移动。

5.根据权利要求4所述的扫描装置，其特征在于，所述支撑件(3)包括设置有两个侧附件(6)的板状元件，所述侧附件(6)能相对于所述扫描头(1)围绕轴线(W)旋转。

6.根据权利要求1所述的扫描装置，还包括至少一个电机(5)，用于在所述活动位置(P1)和所述非活动位置(P2)之间移动所述支撑件(3)。

7.根据权利要求1所述的扫描装置，其特征在于，所述支撑件(3)能在所述活动位置(P1)和所述非活动位置(P2)之间手动移动。

8.根据权利要求1所述的扫描装置，其特征在于，所述支撑件(3)支撑形状像白色参考元件的参考元件(4)。

9.根据权利要求1所述的扫描装置，其特征在于，所述支撑件(3)支撑多个形状像彩色块的参考元件(4)。

10.根据权利要求1所述的扫描装置，其特征在于，所述支撑件(3)能定位在介于所述活动位置(P1)和所述非活动位置(P2)之间的至少一个中间位置。

11.根据权利要求1所述的扫描装置，其特征在于，所述扫描头(1)包括用于获取所述衬底或所述至少一个参考元件(4)的图像的摄像头(7)。

12.根据权利要求1所述的扫描装置，其特征在于，所述扫描头(1)包括用于照射所述衬底或所述至少一个参考元件(4)的至少一个光源(8)。