[实用新型]扫描装置

说明书

一种扫描装置，包括：扫描头(1)，用于获取衬底的图像；支撑件(3)，与扫描头(1)相关联，用于支撑至少一个参考元件(4)。支撑件(3)可在活动位置(P1)和非活动位置(P2)之间移动，在活动位置中，扫描头(1)可获取所述至少一个参考元件(4)的图像，在非活动位置中，扫描头(1)可获取衬底的图像而不干扰支撑件(3)。

技术领域

本实用新型涉及一种扫描装置，特别是光谱类型的扫描装置，其具有适于支撑一个或多个参考元件的支撑件，该参考元件可用于扫描装置的调节或校准。

背景技术

已知扫描装置包括适于静止地接收其图像将被获取的衬底的静止平面以及用于扫描定位在静止平面上的衬底的扫描头。已知类型的扫描装置还包括光源，其布置成在扫描期间照射衬底。

在扫描装置的操作期间，光源经受改变，这意味着由光源发射的光的特性在操作期间可能变化。为了防止这损害测量的精度，已知使用例如由陶瓷制成的通常为白色的参考元件，其色度特征是已知的。参考元件由扫描头周期性地获取，并且用于校准扫描头，以便考虑光源的特性的任何变化并且补偿这种变化。

在已知类型的扫描装置中，参考元件布置在固定位置，在相对于静止平面的正常执行扫描的区域的外围区域中。当将要校准扫描头时，将扫描头移动到参考元件所在的区域，以便获取这个元件的图像。

事实上，仅在开始扫描新的衬底之前获取参考元件的图像。这会是不方便的，特别是如果待扫描的衬底具有相当大的尺寸并且因此涉及相当长的扫描时间，例如大约几个小时。在此情况下，在扫描衬底的同时获取参考元件的图像可能是有用的，以便能够补偿在扫描衬底期间可能发生的光源特性的任何变化。然而，中断衬底的扫描以将扫描头带到参考元件处，除了导致相当大的时间损失之外，还可能使得难以将扫描头重新定位在已经停止衬底的扫描的精确点处。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是改进已知类型的扫描装置。

另一目的是改进扫描装置的调节或校准操作，特别是通过使这些操作更容易和更快。

本实用新型的另一目的是允许包括在扫描装置中的扫描头容易地获取参考元件(例如白色参考元件)的图像。

根据本实用新型，提供了一种扫描装置，包括：扫描头，用于获取衬底的图像；支撑件，与扫描头相关联，用于支撑至少一个参考元件，其中，支撑件可在活动位置和非活动位置之间移动，在活动位置中，扫描头可获取所述至少一个参考元件的图像，在非活动位置中，扫描头可获取衬底的图像而不干扰支撑件。

由于本实用新型，可在扫描头在扫描头和待扫描衬底在其上可相互移动的扫描平面中不移位的情况下在任何需要的时候获取参考元件的图像。为了获取参考元件的图像，在垂直于扫描平面的方向上远离衬底移动扫描头就足够了，在此之后可将参考元件的支撑件从其通常所处的非活动位置移位到可测量参考元件的活动位置。以此方式，可快速获取参考元件的图像，而不损害衬底的扫描精度。

在一个实施方式中，至少一个参考元件包括单个参考元件，可以获取该单个参考元件的图像以重新校准扫描头，以便考虑扫描头所具有的光源的特性的任何变化。

在一个实施方式中，至少一个参考元件可包括一个或多个彩色块，其彩色值是已知的，在认为必要的时候，可获取该彩色值以执行扫描装置的验证或校准。

在一个实施方式中，支撑件可放置在活动位置和非活动位置之间的一个或多个中间位置。

这允许支撑件容纳多个参考元件。实际上，当在活动位置时，可获取布置在支撑件上的第一参考元件的图像，而在中间位置时，可获取也布置在支撑件上的第二参考元件的图像。

附图说明

参考附图可更好地理解和实施本实用新型，该附图示出了本实用新型的非限制性实施方式，其中：