[实用新型]一种晶圆电性测试墨点清除器

权利要求书

1.一种晶圆电性测试墨点清除器，包含安装组件(1)、限位筒(2)及吸收组件(4)，所述安装组件(1)中固定安装有限位筒(2)，所述安装组件(1)的一侧固定安装有吸收组件(4)，且吸收组件(4)的输入端与限位筒(2)筒壁穿插，其特征在于：所述安装组件(1)中固定安装有具有离心同步喷液结构的清洗组件(3)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆电性测试墨点清除器，其特征在于：所述安装组件(1)包括基座(11)、叠板(12)、第一安装架(13)、第二安装架(14)及延展板(15)，所述叠板(12)的四角处均固定安装有基座(11)，且叠板(12)的上表面固定安装有第一安装架(13)，所述第一安装架(13)上表面的一侧固定安装有第二安装架(14)，且第二安装架(14)远离第一安装架(13)的一端与清洗组件(3)固定连接，所述基座(11)靠近第二安装架(14)的一侧固定安装有延展板(15)，且延展板(15)的上表面与吸收组件(4)固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆电性测试墨点清除器，其特征在于：所述清洗组件(3)包括转动组件(31)、传动组件(32)及喷射组件(33)，所述第二安装架(14)上固定安装有转动组件(31)，所述转动组件(31)的输出端一侧设有喷射组件(33)，且转动组件(31)的输出端与喷射组件(33)间设有传动组件(32)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆电性测试墨点清除器，其特征在于：所述转动组件(31)包括马达(311)、第一转轴(312)、转接套(313)、转杆(314)、卡头(315)及环轨(316)，所述第二安装架(14)上固定安装有马达(311)，且马达(311)的输出端上固定安装有第一转轴(312)，所述第一转轴(312)远离马达(311)的一侧套接有转接套(313)，所述转接套(313)的一侧固定连接有转杆(314)，且转杆(314)远离转接套(313)的一端固定安装有卡头(315)，所述第一安装架(13)的上表面内固定安装有环轨(316)，所述环轨(316)内侧与卡头(315)滑动卡接。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆电性测试墨点清除器，其特征在于：所述传动组件(32)包括滑轨(321)、滑块(322)、弹簧(323)、顶杆(324)、第二转轴(325)、轴盒(326)、卷弹簧(327)及阻流板(328)，所述第一转轴(312)靠近转接套(313)的一端固定安装有滑轨(321)，且滑轨(321)中滑动连接有滑块(322)，所述滑块(322)与滑轨(321)靠近第一转轴(312)的一侧固定安装有弹簧(323)，所述滑块(322)远离弹簧(323)的一侧固定安装有顶杆(324)，所述喷射组件(33)内转动连接有第二转轴(325)，且喷射组件(33)内第二转轴(325)的外侧固定安装有轴盒(326)，所述轴盒(326)内壁与第二转轴(325)之间固定安装有卷弹簧(327)，且轴盒(326)的外壁上对称地固定安装有阻流板(328)，所述阻流板(328)与顶杆(324)弹性接触。

6.根据权利要求4所述的一种晶圆电性测试墨点清除器，其特征在于：所述喷射组件(33)包括开关筒(331)、导孔、弹性膜(332)、喷嘴(333)及输液筒(334)，所述卡头(315)的下表面上固定安装有开关筒(331)，且开关筒(331)靠近顶杆(324)的一侧开设有导孔，所述导孔上封装连接有弹性膜(332)，所述开关筒(331)的下表面上固定安装有喷嘴(333)，且喷嘴(333)的输出端与限位筒(2)的底部边沿对齐，所述输液筒(334)穿插在卡头(315)中，且输液筒(334)与开关筒(331)相连通。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆电性测试墨点清除器，其特征在于：所述喷嘴(333)与限位筒(2)的底部边沿间的夹角为15度。