[实用新型]硅片的自动传输装置有效

专利信息
申请号: 202022240703.5 申请日: 2020-10-10
公开(公告)号: CN212934576U 公开(公告)日: 2021-04-09
发明(设计)人: 谢立平;林锐;李唐 申请(专利权)人: 昆山莱崎龙精密技术有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L31/18
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人: 王健
地址: 215316 江苏省苏州市昆山市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 硅片 自动 传输 装置
【权利要求书】:

1.一种硅片的自动传输装置,其特征在于:包括安装于机架上的底板(1)、支座(2)、传输电机(3)和对称设置于支座(2)两侧的传输皮带(4),所述支座(2)安装于底板(1)的上表面上,所述传输电机(3)安装于支座(2)上,用于传输料片的所述传输皮带(4)沿运料方向设置;

所述传输电机(3)的输出轴上安装有一主驱动轮(5),所述支座(2)上转动安装有一第一转轴(6),此第一转轴(6)的两端分别自支座(2)两侧向外伸出,位于主驱动轮(5)同侧的第一转轴(6)一端上安装有一从驱动轮(7),此从驱动轮(7)与主驱动轮(5)通过同步带传动连接;

所述第一转轴(6)上并位于支座(2)两侧分别安装有一第一转轮(8),所述支座(2)的两侧分别转动安装有若干个第二转轮(9),位于支座(2)同一侧的第一转轮(8)与第二转轮(9)之间通过传输皮带(4)传送连接;

所述支座(2)两侧分别设置有一气缸(10),两个所述气缸(10)相对设置,且每个气缸(10)的活塞杆上连接有一沿运料方向设置的条形安装板(11),所述条形安装板(11)的上方间隔安装有若干个可转动的导向轮(12),位于两个条形安装板(11)上的导向轮(12)相对设置于传输皮带(4)的外侧,当气缸(10)的活塞杆处于收缩状态时,所述导向轮(12)的圆周端面远离传输皮带(4),当气缸(10)的活塞杆处于伸长状态时,所述导向轮(12)的圆周端面靠近传输皮带(4)。

2.根据权利要求1所述的硅片的自动传输装置,其特征在于:所述气缸(10)通过一支撑座(13)安装于底板(1)上。

3.根据权利要求1所述的硅片的自动传输装置,其特征在于:每个条形安装板(11)上等间隔安装有4~8个导向轮(12)。

4.根据权利要求1所述的硅片的自动传输装置,其特征在于:所述导向轮(12)上包覆有橡胶层。

5.根据权利要求1所述的硅片的自动传输装置,其特征在于:位于支座(2)同一侧的第二转轮(9)的数目为4个或6个。

6.根据权利要求1或5所述的硅片的自动传输装置,其特征在于:4个位于支座(2)同一侧第二转轮(9)与传输皮带(4)的一表面接触连接,该传输皮带(4)的另一表面与第一转轮(8)接触连接。

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