[实用新型]硅片的自动传输装置有效
申请号: | 202022240703.5 | 申请日: | 2020-10-10 |
公开(公告)号: | CN212934576U | 公开(公告)日: | 2021-04-09 |
发明(设计)人: | 谢立平;林锐;李唐 | 申请(专利权)人: | 昆山莱崎龙精密技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 王健 |
地址: | 215316 江苏省苏州市昆山市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 自动 传输 装置 | ||
1.一种硅片的自动传输装置,其特征在于:包括安装于机架上的底板(1)、支座(2)、传输电机(3)和对称设置于支座(2)两侧的传输皮带(4),所述支座(2)安装于底板(1)的上表面上,所述传输电机(3)安装于支座(2)上,用于传输料片的所述传输皮带(4)沿运料方向设置;
所述传输电机(3)的输出轴上安装有一主驱动轮(5),所述支座(2)上转动安装有一第一转轴(6),此第一转轴(6)的两端分别自支座(2)两侧向外伸出,位于主驱动轮(5)同侧的第一转轴(6)一端上安装有一从驱动轮(7),此从驱动轮(7)与主驱动轮(5)通过同步带传动连接;
所述第一转轴(6)上并位于支座(2)两侧分别安装有一第一转轮(8),所述支座(2)的两侧分别转动安装有若干个第二转轮(9),位于支座(2)同一侧的第一转轮(8)与第二转轮(9)之间通过传输皮带(4)传送连接;
所述支座(2)两侧分别设置有一气缸(10),两个所述气缸(10)相对设置,且每个气缸(10)的活塞杆上连接有一沿运料方向设置的条形安装板(11),所述条形安装板(11)的上方间隔安装有若干个可转动的导向轮(12),位于两个条形安装板(11)上的导向轮(12)相对设置于传输皮带(4)的外侧,当气缸(10)的活塞杆处于收缩状态时,所述导向轮(12)的圆周端面远离传输皮带(4),当气缸(10)的活塞杆处于伸长状态时,所述导向轮(12)的圆周端面靠近传输皮带(4)。
2.根据权利要求1所述的硅片的自动传输装置,其特征在于:所述气缸(10)通过一支撑座(13)安装于底板(1)上。
3.根据权利要求1所述的硅片的自动传输装置,其特征在于:每个条形安装板(11)上等间隔安装有4~8个导向轮(12)。
4.根据权利要求1所述的硅片的自动传输装置,其特征在于:所述导向轮(12)上包覆有橡胶层。
5.根据权利要求1所述的硅片的自动传输装置,其特征在于:位于支座(2)同一侧的第二转轮(9)的数目为4个或6个。
6.根据权利要求1或5所述的硅片的自动传输装置,其特征在于:4个位于支座(2)同一侧第二转轮(9)与传输皮带(4)的一表面接触连接,该传输皮带(4)的另一表面与第一转轮(8)接触连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造