[实用新型]一种单晶圆棒搬运小车有效

专利信息
申请号: 202022246596.7 申请日: 2020-10-12
公开(公告)号: CN213738421U 公开(公告)日: 2021-07-20
发明(设计)人: 王立明;郭鹏;任勇祥;郭敏杰;高明霞;杨进;张立达;辛玉龙;冯宜平 申请(专利权)人: 山西潞安太阳能科技有限责任公司
主分类号: B66F7/20 分类号: B66F7/20;B66F7/28
代理公司: 太原市科瑞达专利代理有限公司 14101 代理人: 李富元
地址: 046000 山*** 国省代码: 山西;14
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摘要:
搜索关键词: 一种 单晶圆棒 搬运 小车
【权利要求书】:

1.一种单晶圆棒搬运小车,其特征在于:包括小车(4)、通过液压装置(5)安装在小车(4)上的竖直升降的水平支撑板(1),水平支撑板(1)上安装有多个转架(2),多个转架(2)成对称的两列布置,单晶圆棒在搬运过程中放置在转架(2)的两列的中央,每个转架(2)包括带倾斜面的固定块(21)、安装在固定块(21)上的轴承座(23)、安装在轴承座(23)上轴承(22),多个转架(2)在纵向成两列,在横向成多排,横向的每行的两个转架(2)的固定块(21)的倾斜面都朝内。

2.根据权利要求1所述的一种单晶圆棒搬运小车,其特征在于:每个固定块(21)上的轴承座(23)有多排,每个轴承座(23)上都安装有轴承(22)。

3.根据权利要求1所述的一种单晶圆棒搬运小车,其特征在于:小车(4)上有车轮(6)和扶手(3)。

4.根据权利要求1所述的一种单晶圆棒搬运小车,其特征在于:液压装置(5)为四个液压缸,每个液压缸的缸体都安装在小车(4)上,每个液压缸的伸缩臂都安装在水平支撑板(1)底部。

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