[实用新型]一种单晶圆棒搬运小车有效
申请号: | 202022246596.7 | 申请日: | 2020-10-12 |
公开(公告)号: | CN213738421U | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 王立明;郭鹏;任勇祥;郭敏杰;高明霞;杨进;张立达;辛玉龙;冯宜平 | 申请(专利权)人: | 山西潞安太阳能科技有限责任公司 |
主分类号: | B66F7/20 | 分类号: | B66F7/20;B66F7/28 |
代理公司: | 太原市科瑞达专利代理有限公司 14101 | 代理人: | 李富元 |
地址: | 046000 山*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶圆棒 搬运 小车 | ||
1.一种单晶圆棒搬运小车,其特征在于:包括小车(4)、通过液压装置(5)安装在小车(4)上的竖直升降的水平支撑板(1),水平支撑板(1)上安装有多个转架(2),多个转架(2)成对称的两列布置,单晶圆棒在搬运过程中放置在转架(2)的两列的中央,每个转架(2)包括带倾斜面的固定块(21)、安装在固定块(21)上的轴承座(23)、安装在轴承座(23)上轴承(22),多个转架(2)在纵向成两列,在横向成多排,横向的每行的两个转架(2)的固定块(21)的倾斜面都朝内。
2.根据权利要求1所述的一种单晶圆棒搬运小车,其特征在于:每个固定块(21)上的轴承座(23)有多排,每个轴承座(23)上都安装有轴承(22)。
3.根据权利要求1所述的一种单晶圆棒搬运小车,其特征在于:小车(4)上有车轮(6)和扶手(3)。
4.根据权利要求1所述的一种单晶圆棒搬运小车,其特征在于:液压装置(5)为四个液压缸,每个液压缸的缸体都安装在小车(4)上,每个液压缸的伸缩臂都安装在水平支撑板(1)底部。
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