[实用新型]一种单晶圆棒搬运小车

说明书

本实用新型涉及一种搬运小车。一种单晶圆棒搬运小车，包括小车（4）、通过液压装置（5）安装在小车（4）上的竖直升降的水平支撑板（1），水平支撑板（1）上安装有多个转架（2），多个转架（2）成对称的两列布置，单晶圆棒在搬运过程中放置在转架（2）的两列的中央，每个转架（2）包括带倾斜面的固定块（21）、安装在固定块（21）上的轴承座（23）、安装在轴承座（23）上轴承（22），多个转架（2）在纵向成两列，在横向成多排，横向的每行的两个转架（2）的固定块（21）的倾斜面都朝内。

技术领域

本实用新型涉及一种搬运小车。

背景技术

单晶车间拉制的单晶长圆棒，长度为2m左右，重量约为180kg，拉制完成的单晶棒要运送到截断工序，先对单晶长棒进行电学测试，然后根据长度要求进行划线，划线完成后的单晶长圆棒要在截断机上按照划线要求截断成单晶小圆棒。单晶长圆棒在截断工序周转时，要将单晶长棒放置到截断的上棒车后才能进行截断。由于截断上棒车和拉晶车间的送棒小车高度不一致，周转时需要人工将圆棒从送棒小车抬到截断上棒车。由于硅棒太重且长，每次周转需要4个人进行抬棒，且有一定的危险性。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是：如何克服背景技术中的问题，提供一种节省人工，又降低了周转的危险性的单晶硅棒搬运小车。

本实用新型所采用的技术方案是：一种单晶圆棒搬运小车，包括小车（4）、通过液压装置（5）安装在小车（4）上的竖直升降的水平支撑板（1），水平支撑板（1）上安装有多个转架（2），多个转架（2）成对称的两列布置，单晶圆棒在搬运过程中放置在转架（2）的两列的中央，每个转架（2）包括带倾斜面的固定块（21）、安装在固定块（21）上的轴承座（23）、安装在轴承座（23）上轴承（22），多个转架（2）在纵向成两列，在横向成多排，横向的每行的两个转架（2）的固定块（21）的倾斜面都朝内。

每个固定块（21）上的轴承座（23）有多排，每个轴承座（23）上都安装有轴承（22）。

小车（4）上有车轮（6）和扶手（3）。

液压装置（5）为四个液压缸，每个液压缸的缸体都安装在小车（4）上，每个液压缸的伸缩臂都安装在水平支撑板（1）底部。

本实用新型的有益效果是：本专利解决了拉晶车间的送棒小车与截断上棒车的周转问题，由4人完成的工作1人就可以完成，节省了人工，同时降低了周转过程的危险性。

附图说明

图1是本实用新型的俯视图示意图；

图2是本实用新型的主视图示意图；

图3是本实用新型的侧视图示意图（不带扶手）；

图4是图3的A向示意图；

其中，1、水平支撑板，2、转架，3、扶手，4、小车，5、液压装置，6、车轮，21、固定块，22、轴承，23、轴承座。

具体实施方式

根据单晶圆棒的长度范围在1800mm-2000mm之间，截断小车以及水平支撑板的长度为2000mm，根据单晶圆棒的横截面直径为210mm-250mm之间，截断小车以及水平支撑板的宽度为800mm。

2、液压装置进行选型设计，根据硅棒的重量为180kg，升降高度定为200mm-400mm，确定液压装置为抬升能力大于60 kg的四个液压缸。

3、设计转架即滑轮装置，两列转架的间距为180mm，为了便于硅棒的周转，每个转架上设置三个轴承座。