[实用新型]一种水平砷化镓单晶切片用粘结台及粘结装置

权利要求书

1.一种水平砷化镓单晶切片用粘结台，其特征在于，包括表面设有第一导槽的第一导槽台(10)和表面设有第二导槽的第二导槽台(20)，所述第一导槽和所述第二导槽均贯穿所在导槽台的相对的两个端面，所述第二导槽台(20)和所述第一导槽台(10)相对地固定连接，且保持所述第一导槽和所述第二导槽延伸方向一致，所述第二导槽台(20)的所述两个端面与所述第一导槽台(10)的所述表面垂直，所述第二导槽台(20)位于所述第一导槽台(10)的中部位置，所述第一导槽台(10)的位于所述第一导槽一侧的侧端(101)的不与所述第二导槽台(20)相对的位置间隔设有通向所述第一导槽的多个校准孔，每个校准孔内匹配有校准螺栓。

2.如权利要求1所述的水平砷化镓单晶切片用粘结台，其特征在于，

所述校准孔的个数为8个，平均分为两组设置于所述第一导槽台(10)的两侧。

3.如权利要求1所述的水平砷化镓单晶切片用粘结台，其特征在于，

所述第一导槽和所述第二导槽等宽，所述第一导槽台(10)和所述第二导槽台(20)固定连接时，所述第一导槽和所述第二导槽在导槽宽度方向对齐，合并形成整体导槽。

4.如权利要求1所述的水平砷化镓单晶切片用粘结台，其特征在于，

所述第一导槽台(10)和所述第二导槽台(20)均为龙门矩形结构，所述第一导槽台(10)的长度为500-700mm，宽度为200-400mm，高度为50-70mm；所述第二导槽台(20)的长度为200-400mm，宽度为150-250mm，高度为10-30mm。

5.如权利要求4所述的水平砷化镓单晶切片用粘结台，其特征在于，

所述第一导槽台(10)的长度为600mm，宽度为300mm，高度为60mm；所述第二导槽台(20)的长度为300mm，宽度为200mm，高度为20mm。

6.一种水平砷化镓单晶切片用粘结装置，其特征在于，包括如权利要求1所述的水平砷化镓单晶切片用粘结台、光源(2)和模板(3)，所述模板(3)位于由所述第一导槽和第二导槽合并的整体导槽中，且其与所述多个校准孔相背的侧面与所对的整体导槽的内槽壁贴合定位，其与所述多个校准孔相对的侧面通过所述校准螺栓锁紧定位，所述光源(2)设置于所述水平砷化镓单晶切片用粘结台的上方。

7.如权利要求6所述的水平砷化镓单晶切片用粘结装置，其特征在于，所述水平砷化镓单晶切片用粘结装置还包括多个支撑板(4)，所述多个支撑板置于所述模板(3)的表面，并沿所述第一导槽的延伸方向间隔设置。