[实用新型]一种光刻机的送料装置

权利要求书

1.一种光刻机的送料装置，其特征在于，包括

支撑组件(100)，所述支撑组件(100)包括支撑箱(110)和支撑架(120)，所述支撑架(120)固定安装于所述支撑箱(110)的一端；

运送组件(200)，所述运送组件(200)包括第一驱动件(210)、安装块(220)、齿条(230)、齿轮(240)、第一转轴(250)和摇摆杆(260)，所述第一驱动件(210)固定安装于所述支撑架(120)，所述安装块(220)固定安装于所述第一驱动件(210)，所述齿条(230)的一端固定安装于所述安装块(220)，所述齿轮(240)与所述齿条(230)传动连接，所述第一转轴(250)的一端固定安装于所述齿轮(240)，所述第一转轴(250)的另一端与所述摇摆杆(260)固定连接，所述第一转轴(250)与所述支撑架(120)转动连接；

翻转组件(300)，所述翻转组件(300)包括安装架(310)、电机(320)、第二转轴(330)、第二驱动件(340)、吸盘(350)和气泵(360)，所述安装架(310)固定安装于所述摇摆杆(260)远离所述第一转轴(250)的一端，所述电机(320)固定安装于所述安装架(310)的一侧，所述第二转轴(330)的一端固定安装于所述电机(320)的输出轴，所述第二转轴(330)的另一端与所述安装架(310)转动连接，所述第二驱动件(340)固定安装于所述第二转轴(330)，所述吸盘(350)固定安装于所述第二驱动件(340)，所述吸盘(350)与所述气泵(360)连通，所述气泵(360)固定安装于所述支撑箱(110)的内部。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机的送料装置，其特征在于，所述支撑架(120)远离所述支撑箱(110)的一端端部固定安装有限位板(121)，所述限位板(121)能够与所述齿条(230)抵触。

3.根据权利要求1所述的一种光刻机的送料装置，其特征在于，所述齿条(230)的一侧固定有滑块(231)，所述支撑架(120)上开设有滑槽(122)，所述滑块(231)能够容置于所述滑槽(122)，并能够沿所述滑槽(122)滑动。

4.根据权利要求1所述的一种光刻机的送料装置，其特征在于，所述第一驱动件(210)、所述齿条(230)和所述齿轮(240)的外侧设置有保护罩(123)，所述保护罩(123)固定安装于所述支撑架(120)。

5.根据权利要求1所述的一种光刻机的送料装置，其特征在于，所述支撑架(120)远离所述齿轮(240)的一面固定有两根限位销(124)，两根所述限位销(124)均能够与所述摇摆杆(260)抵触。

6.根据权利要求1所述的一种光刻机的送料装置，其特征在于，所述第二转轴(330)远离所述电机(320)的一端端部固定有旋转块(331)，所述安装架(310)远离所述电机(320)的一面固定有两个限位块(311)，两个所述限位块(311)均能够与所述旋转块(331)抵触。

7.根据权利要求1所述的一种光刻机的送料装置，其特征在于，所述支撑箱(110)的开口处铰接有箱门(111)。

8.根据权利要求7所述的一种光刻机的送料装置，其特征在于，所述箱门(111)上固定有把手(1111)。

9.根据权利要求1所述的一种光刻机的送料装置，其特征在于，所述支撑箱(110)的底端固定有自锁万向轮(112)。

10.根据权利要求1所述的一种光刻机的送料装置，其特征在于，所述第一驱动件(210)和所述第二驱动件(340)为气泵、液压缸或电动推杆中的任意一种。