[实用新型]一种光刻机的送料装置

说明书

本实用新型提供了一种光刻机的送料装置，属于光刻机技术领域。包括支撑组件、运送组件和翻转组件，其中，支撑组件中的支撑架固定于支撑箱。运送组件中的第一驱动件固定于支撑架，安装块固定于第一驱动件，齿条固定于安装块，齿轮与齿条传动连接，第一转轴一端固定于齿轮，另一端与摇摆杆固定，第一转轴与支撑架转动连接。翻转组件中的安装架固定于摇摆杆的一端，电机固定于安装架的一侧，第二转轴的一端固定于电机，第二转轴的另一端与安装架转动连接，第二驱动件固定安装于第二转轴，吸盘固定安装于第二驱动件，吸盘与气泵连通，气泵固定安装于支撑箱的内部。整个装置结构简单，操作方便，制造成本低，实现光刻机的自动送料。

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，具体而言，涉及一种光刻机的送料装置。

背景技术

光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。

光刻机加工时需要用到机械手把硅片从外侧送到光刻机内部进行加工，但是目前的送料用机械手结构复杂，制造成本高。

实用新型内容

为了弥补以上不足，本实用新型提供了一种光刻机的送料装置，旨在改善目前的送料用机械手结构复杂，制造成本高的问题。

本实用新型是这样实现的：本实用新型提供一种光刻机的送料装置，包括支撑组件、运送组件和翻转组件，其中，运送组件安装在支撑组件上实现物料的运送，翻转组件安装在运送组件上实现物料的翻转。

所述支撑组件包括支撑箱和支撑架，所述支撑架固定安装于所述支撑箱的一端。

所述运送组件包括第一驱动件、安装块、齿条、齿轮、第一转轴和摇摆杆，所述第一驱动件固定安装于所述支撑架，所述安装块固定安装于所述第一驱动件，所述齿条的一端固定安装于所述安装块，所述齿轮与所述齿条传动连接，所述第一转轴的一端固定安装于所述齿轮，所述第一转轴的另一端与所述摇摆杆固定连接，所述第一转轴与所述支撑架转动连接。

所述翻转组件包括安装架、电机、第二转轴、第二驱动件、吸盘和气泵，所述安装架固定安装于所述摇摆杆远离所述第一转轴的一端，所述电机固定安装于所述安装架的一侧，所述第二转轴的一端固定安装于所述电机的输出轴，所述第二转轴的另一端与所述安装架转动连接，所述第二驱动件固定安装于所述第二转轴，所述吸盘固定安装于所述第二驱动件，所述吸盘与所述气泵连通，所述气泵固定安装于所述支撑箱的内部。

在本实用新型的一种实施例中，所述支撑架远离所述支撑箱的一端端部固定安装有限位板，所述限位板能够与所述齿条抵触。

在本实用新型的一种实施例中，所述齿条的一侧固定有滑块，所述支撑架上开设有滑槽，所述滑块能够容置于所述滑槽，并能够沿所述滑槽滑动。

在本实用新型的一种实施例中，所述第一驱动件、所述齿条和所述齿轮的外侧设置有保护罩，所述保护罩固定安装于所述支撑架。

在本实用新型的一种实施例中，所述支撑架远离所述齿轮的一面固定有两根限位销，两根所述限位销均能够与所述摇摆杆抵触。

在本实用新型的一种实施例中，所述第二转轴远离所述电机的一端端部固定有旋转块，所述安装架远离所述电机的一面固定有两个限位块，两个所述限位块均能够与所述旋转块抵触。

在本实用新型的一种实施例中，所述支撑箱的开口处铰接有箱门。

在本实用新型的一种实施例中，所述箱门上固定有把手。

在本实用新型的一种实施例中，所述支撑箱的底端固定有自锁万向轮。

在本实用新型的一种实施例中，所述第一驱动件和所述第二驱动件为气泵、液压缸或电动推杆中的任意一种。