[实用新型]一种具有移动机械手的晶圆磨削设备

权利要求书

1.一种具有移动机械手的晶圆磨削设备，其特征在于，包括：

设备前端模块，用于实现晶圆的进出，所述设备前端模块设置在所述晶圆磨削设备的前端；

磨削模块，用于对所述晶圆进行磨削，所述磨削包括粗磨削和精磨削，所述磨削模块设置在所述晶圆磨削设备的末端；

抛光模块，用于在完成所述磨削之后利用能够根据所述晶圆的厚度分布分区调节加载压力的承载头对所述晶圆进行化学机械抛光，所述抛光模块设置在所述设备前端模块与所述磨削模块之间；以及

移动传输模块，用于晶圆传输，其平行于抛光模块设置并位于前端模块和磨削模块之间；

其中，移动传输模块包括移动存储台和移动机械手，移动机械手用于从设备前端模块接收干燥的晶圆并将干燥的晶圆放置于移动存储台上以避免污染晶圆并降低晶圆在不同模块之间传递的时间从而提高设备产能。

2.如权利要求1所述的晶圆磨削设备，其特征在于，所述移动机械手包括水平移动机构、支撑板、竖直移动机构、夹持组件、第一连接板、导轨以及用于与导轨滑动配合的滑块；

水平移动机构的固定座固定在晶圆磨削设备的内壁，水平移动机构的水平移动端固定连接支撑板，竖直移动机构固定在支撑板上，竖直移动机构的竖直移动端通过第一连接板连接夹持组件，以使水平移动机构通过支撑板带动竖直移动机构水平移动以及使竖直移动机构通过第一连接板带动夹持组件竖直移动，从而实现夹持组件具有竖直方向和水平方向的两个自由度；夹持组件位于竖直移动机构的一侧，竖直移动机构的另一侧设有安装在支撑板上的沿竖直方向的导轨，滑块与竖直移动机构的竖直移动端固定连接，以限制竖直移动机构的竖直移动端的运动方向。

3.如权利要求2所述的晶圆磨削设备，其特征在于，所述夹持组件包括夹持气缸、第一卡爪、第一卡爪连接件、第二卡爪和第二卡爪连接件，第一卡爪通过第一卡爪连接件与夹持气缸的第一活动端连接，第二卡爪通过第二卡爪连接件与夹持气缸的第二活动端连接，以通过夹持气缸带动第一卡爪和第二卡爪相向或相背运动从而夹持或松开晶圆。

4.如权利要求2所述的晶圆磨削设备，其特征在于，所述移动机械手还包括限位缓冲组件，限位缓冲组件包括第一限位件、缓冲螺栓和第二限位件，第一限位件安装在支撑板上，第二限位件位于第一限位件正下方并安装在第一连接板上，缓冲螺栓固定在第一限位件上并且其缓冲端向下设置以在竖直移动机构通过第一连接板带动夹持组件上升的过程中进行缓冲限位。

5.如权利要求2所述的晶圆磨削设备，其特征在于，所述移动机械手上设有位于夹持组件上方的晶圆检测传感器。

6.如权利要求2所述的晶圆磨削设备，其特征在于，所述移动机械手还包括安装在支撑板上的静电消除器，静电消除器位于夹持组件上方以向位于其下方的晶圆喷射负离子。

7.如权利要求2所述的晶圆磨削设备，其特征在于，所述移动机械手还包括电缆保护链。

8.如权利要求1所述的晶圆磨削设备，其特征在于，所述移动存储台包括晶圆对中机构和传输机构，晶圆对中机构用于调整晶圆位置，传输机构与晶圆对中机构连接以带动晶圆对中机构移动；

晶圆对中机构包括一固定台、一旋转驱动机构、一柔性连轴器、一锥齿轮组件、预设数量的滚珠丝杠组件和预设数量的移动夹持组件；

预设数量的滚珠丝杠组件沿周向均匀安装在固定台上，滚珠丝杠组件沿水平方向设置，滚珠丝杠组件的直线运动端连接移动夹持组件，滚珠丝杠组件位于锥齿轮组件外围并且滚珠丝杠组件的转动端与锥齿轮组件固定连接，锥齿轮组件通过柔性连轴器与位于其下方的旋转驱动机构固定连接；

旋转驱动机构向柔性连轴器施加扭矩，从而通过锥齿轮组件分别向每个滚珠丝杠组件传送转动力，滚珠丝杠组件将所述转动力转化为直线运动，预设数量的滚珠丝杠组件直线运动的延长线方向相交于同一点，以带动预设数量的移动夹持组件按照相互靠近的方向水平地同步移动从而将晶圆夹持固定于预设位置。